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FFU（Fan Filter Unit）是風(fēng)機(jī)和過濾器的組合，也可稱為“自帶風(fēng)機(jī)的過濾設(shè)備”。FFU通常安裝在潔凈室的送風(fēng)末端，一般放置在吊裝的“干式”墊片密封龍骨框架上。FFU上面部分為風(fēng)機(jī)模塊，下面部分為過濾器。根據(jù)潔凈度的要求，過濾器可為不同等級(jí)的高效（HEPA）或超高效（ULPA）過濾器，為潔凈室提供潔凈空氣。風(fēng)機(jī)模塊除了要克服FFU下部高效過濾器的阻力，還要克服整個(gè)循環(huán)風(fēng)所有通道部件的阻力，從而維持設(shè)定的運(yùn)行風(fēng)速。FFU系統(tǒng)具有設(shè)計(jì)施工簡便，風(fēng)速調(diào)節(jié)靈活，潔凈區(qū)易于變更等特點(diǎn)，因此已成為工業(yè)潔凈室的流行系統(tǒng)形式之一。是一個(gè)自帶送風(fēng)機(jī)（無殼風(fēng)機(jī)）的高效過濾器送風(fēng)口，它與其專用龍骨系統(tǒng)（Ceiling Grid）、冷卻盤管（一般為干盤管）、加壓風(fēng)機(jī)、新風(fēng)系統(tǒng)以及專用燈具共同組成了FFU系統(tǒng)。FFU的使用方式是,新風(fēng)有新風(fēng)空調(diào)機(jī)處理至所需狀態(tài)點(diǎn)后送入,在靜壓箱內(nèi)與回風(fēng)混合后經(jīng)FFU的風(fēng)機(jī)加壓后經(jīng)HEPA或ULPA送入室內(nèi),再經(jīng)架空地板或側(cè)墻回至干盤管,在此經(jīng)冷(熱)處理后經(jīng)由回壓機(jī)送回至靜壓箱完成循環(huán)。這樣的系統(tǒng)最為常用于有超靜要求的潔凈室，如大型集成電路晶圓的制造、尖端顯示器如TFT、PDP等的制造、硬盤的制造等。
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