應(yīng)用:
新一代光纖激光劃片機(jī)是我司設(shè)計(jì)開發(fā)的第三代激光劃片機(jī)。其主要應(yīng)用于太陽能行業(yè)單晶硅、多晶硅電池片和硅片的劃片和刻槽;電子行業(yè)硅、鍺、砷化鎵等半導(dǎo)體襯底材料的劃片和切割等。該設(shè)備由專家精心設(shè)計(jì),與傳統(tǒng)YAG劃片機(jī)相比,光纖激光具有的優(yōu)勢(shì)是:更優(yōu)質(zhì)的光束質(zhì)量、速度快、能耗低、免維護(hù)、體積小。由于整體采用自動(dòng)控制系統(tǒng),簡易的操作和低維護(hù),使得該款機(jī)型具有更高的生產(chǎn)效率。
特點(diǎn):
1、光速質(zhì)量更好(標(biāo)準(zhǔn)基膜),切縫更細(xì),邊緣更平整光滑;
2、劃片速度快,≥250mm/s;(是氪燈和半導(dǎo)體劃片機(jī)速度的2倍,一臺(tái)設(shè)備可以達(dá)到以前2臺(tái)設(shè)備的效率);
3、轉(zhuǎn)換效率更高,運(yùn)行成本更低(1.5KW,該機(jī)器運(yùn)行一小時(shí)耗電約為1.5度,比氪燈劃片機(jī)少了3.5度每小時(shí),更加節(jié)能環(huán)保);
4、免維護(hù),無消耗性易損件更換;
5、設(shè)備體積更小(風(fēng)冷)。
技術(shù)參數(shù):
光纖激光器 1064nm (不可見光)
輸出功率 ≤20W (可選)
光束質(zhì)量M2 1.2
激光重復(fù)頻率 20 - 250 kHz (可調(diào))
數(shù)控工作臺(tái) 300 mm × 300 mm
臺(tái)灣產(chǎn)滾珠絲桿
劃片速度 ≥250mm/s (可編程設(shè)定)
劃片精度 ≤0.01 mm
冷卻系統(tǒng) 風(fēng)冷
*大厚度 1.2 mm(半導(dǎo)體硅片)
線寬 ≤0.03 mm
輸入電壓 220V, 50 Hz
機(jī)器尺寸 L780*W750*H1570 mm
整機(jī)功耗 1.5KW
電機(jī) 伺服電機(jī) |
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