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公　司：重慶大智工業(yè)設(shè)備有限公司

發(fā)布時(shí)間：2014年09月04日

有效期：2015年03月06日

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詳細(xì)說明

光學(xué)鍍膜機(jī)維護(hù)與保養(yǎng)
光學(xué)鍍膜機(jī)主要由真空鍍膜機(jī)室、真空抽氣機(jī)組限及電柜（控制電柜、電子槍電樞）組成，其廣泛應(yīng)用于微電子、光學(xué)成膜、民用裝飾、表面工程等領(lǐng)域。
光學(xué)鍍膜設(shè)備在防止油污染和縮短工作周期等方面具有卓越的性能。
光學(xué)鍍膜設(shè)備工作原理是在高真空狀態(tài)下、利用電子束對(duì)金屬或非金屬材料加熱到適當(dāng)?shù)臏囟龋牧鲜軣岷笳舭l(fā)成蒸汽分子。它的平均自由程比蒸發(fā)源至被蒸發(fā)基片距離大，蒸發(fā)出來的蒸汽分子向四處直射，碰到基片就沉積在基片表面形成臘層。
光學(xué)鍍膜機(jī)維護(hù)與保養(yǎng)主要包換電子槍安裝與維護(hù)、光路的檢修與維護(hù)、設(shè)備的清洗與保養(yǎng)。
一、電子槍安裝與維護(hù)
電子槍蒸發(fā)源控制系統(tǒng)是由電子槍燈絲電源、高壓電源、掃描電源、坩堝驅(qū)動(dòng)電源、蒸發(fā)源等組成一個(gè)電子槍控制電樞。
電子槍控制電樞內(nèi)含有高壓，在工作前必須保證柜門各個(gè)聯(lián)鎖裝置正常工作，非專業(yè)人員不得打開電樞門，電子槍在工作時(shí)不得打開電柜門，整個(gè)電柜必須有良好的接地并與機(jī)臺(tái)接地連接。
電子槍蒸發(fā)源安裝在真空室底板上，必須與底板有良好的接地效果，安裝蒸發(fā)源必須使用不銹鋼螺絲來固定，周邊200mm以內(nèi)不得有導(dǎo)磁的物體，否則會(huì)影響到電子槍的光斑成表，造成電子性能的不良。電子槍檔板應(yīng)盡量裝在蒸發(fā)源坩堝的中心上30mm處，以不影響電子束的發(fā)射為好。
電子槍蒸發(fā)源是一個(gè)精密機(jī)械加工體，在工作時(shí)必須保證有良好的冷卻水，如過高的溫度會(huì)影響電子束的成型及各密封圈的性能。
（一）電子槍頭
電子槍的槍頭安裝好壞直接影響到工作的正常進(jìn)行，其發(fā)生的故障有90%同電子槍槍頭有關(guān)。
電子槍槍頭有使用一段時(shí)間后，會(huì)因?yàn)榻M件的污染而影響電子束的成型及功率，需要拆卸清潔。
（二）坩堝的維護(hù)
拆坩堝之前，請(qǐng)先關(guān)掉水路用壓縮空氣把電子槍冷卻管內(nèi)的水分盡可能吹干凈。
蒸發(fā)源裝卸順序：
1.拆落兩條冷卻水連接管。2.擰出電子槍槍頭連接高壓線兩個(gè)螺絲。3.拆坩堝傳動(dòng)連接座、聯(lián)軸器。4.擰落蒸發(fā)源四個(gè)固定螺絲。5.把蒸發(fā)源搬運(yùn)到一個(gè)穩(wěn)定平整的工作臺(tái)。6.拆落坩堝蓋板四個(gè)螺絲，取下蓋板打磨干凈。7.檢查蓋板上面兩個(gè)密封圈是否需要更換。8.把蒸發(fā)源反轉(zhuǎn)過來倒置，用木板墊住坩堝部分。9.擰下固定坩堝轉(zhuǎn)動(dòng)四個(gè)螺絲10.抬起蒸發(fā)源，取下坩堝 11.把坩堝倒置，擰下坩堝底蓋的八個(gè)螺絲，清洗干凈里面的污垢，檢查是否需要近密封圈。12.擰下導(dǎo)水管的一個(gè)螺絲13.擰下坩堝轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)與坩堝蓋板連接的四個(gè)螺絲 14.撥出坩堝轉(zhuǎn)動(dòng)軸，檢查轉(zhuǎn)動(dòng)軸的油封是否需要換件 15.把坩堝清潔干凈安裝。安裝按上面的倒過順序來進(jìn)行。
（三）導(dǎo)磁板及掃描圈的維護(hù)
導(dǎo)磁板及永磁鐵是不需要經(jīng)常拆卸維護(hù)，如需拆卸，請(qǐng)注意永磁鐵的極向，及導(dǎo)磁板的方向。線圈由于安裝的空間密實(shí)，請(qǐng)不要使用硬尖的東西撬動(dòng)，否則有可能會(huì)造成損壞。
二、光路的檢修與維護(hù)
光路調(diào)整的先決條件是：確保直流穩(wěn)定電源、調(diào)制光源頭、光纖、光柵單色儀、光電轉(zhuǎn)換放大器、光學(xué)膜厚儀及各專用電纜的完好和正確接入。特別是光電轉(zhuǎn)換放大器、光學(xué)膜厚測(cè)量?jī)x的接地點(diǎn)，必須單獨(dú)歸至主機(jī)接點(diǎn)牢固接地等等。

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