1、特點及主要應用領域
質量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫為MFC）用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。質量流量計（Mass Flow Meter縮寫為MFM）,用于對氣體的質量流量進行精密測量。
S49 31 質量流量控制器和質量流量計特點：
☆主體采用不銹鋼（316L）結構，氣密材料采用VITON®、聚四氟乙烯等。適用于各種耐腐蝕性氣體。
☆耐壓高及適用于真空條件下工作。低壓降。工作壓力范圍寬，氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。
☆具有精度高、重復性好、響應速度快、軟啟動、工作穩定可靠。
☆可任意位置安裝。電氣操作控制顯示，使用方便。易于與電氣系統或自動控制系統配合。
☆配合MT-60 系列流量積算儀，可對氣體的瞬時流量和累積流量進行精確計量。
S49 31 質量流量控制器和質量流量計主要應用領域：
半導體制造行業的氣體流量控制；
分析儀器設備的氣體計量與控制；
各種形式的真空鍍膜設備；
環境檢測與分析設備；
化工、石化、食品、冶金、光纖熔煉等行業氣體流量檢測和控制；
特種材料表面處理裝置與燃燒控制；
混氣配氣系統和泄露探測系統等。
2、S49系列質量流量控制器和質量流量計型號
S49 31 系列質量流量控制器，S49為質量流量控制器和質量流量計產品，31/MT為本公司此產品設計序列號。
其中：S49 31/MT 系列為質量流量控制器。
S49 31A/MT 系列為質量流量計。
質量流量計用于氣體質量流量精確測量計量；質量流量控制器不但具有質量流量計的測量計量功能，還具有自動控制氣體流量的功能。
執行Q/CYHMT001-2011企業標準
3、 主要技術指標
質量流量計和質量流量控制器流量出廠通常用氮氣(N2)標定。
質量流量單位為：標準狀態mL/min （毫升/分鐘） （SCCM行業標準）；
標準狀態L/min （升/分鐘）（SLM行業標準）。
標準狀態為：溫度----0℃；
氣壓----101325Pa
F.S(Full Scale):表示滿量程值
表1 S49 31/MT流量控制器、S49 31A/MT流量計技術指標
編號 項目 S49 31/MT S49 31A/MT
1 流量規格 (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min;
(0～1,2,3,5)L/min
2 調節閥類型 電磁調節閥
3 調節閥靜止狀態 常閉
4 準確度 ±1%F.S(10mL/min～5L/min規格，其余規格≤±2% F.S)
5 線性 ±1.0%F.S，±1.5%F.S
6 重復精度 ±0.2%F.S
7 響應時間 (3～4)s
8 工作壓差范圍 (0.05～0.3)MPa; (0.1～0.3)MPa(10～30)L/min
9 耐壓 3MPa; 10MPa
10 工作環境溫度 5℃～45℃
11 材料 不銹鋼316L
12 標準密封材料 Viton®， EPDM， 或其他由用戶指定
13 漏率 1×10-9atm.mL/s (He)
14 接頭 Ф3mm～Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR)，
軟管接頭Ф4mm～Ф10mm 或其他
15 輸入輸出信號 0V～＋5.00V (輸入阻抗≥100KΩ,負載輸出電流能力≤3mA)
16 供電電源 ±15V（±2%）（＋15V 50mA, －15V 200mA）
17 外形尺寸mm 134×134×38
18 重量kg 1.0 |
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