產品應用：主要用于生長鈍化與多層布線介質用的氮化硅、氧化硅及摻雜等，以及在125mm×125mm或156mm×156mm太陽能硅片上淀積氮化硅減反射鈍化膜。
產品特點：
◆ 用工控機對工藝時間，溫度，氣體流理，閥門動作，反應室壓力實現全自動控制
◆ 采用進口壓力控制系統，閉環系統，穩定性高
◆ 采用進口耐腐蝕不銹鋼管件、閥門，確保氣路氣密性
◆ 具有完善的報警功能及安全互鎖裝置
◆ 具有超高溫報警，MFC報警，反應室壓力報警，RF報警，高壓空氣壓力報警，高壓空氣壓力報警，N2壓力報警，水流報警等
◆ 懸臂式送料裝置
◆ 適合晶體硅太陽能新工藝的探索實驗
主要技術指標：
1. 工作溫度：150～500℃，
2. 裝片數量(太陽能電池片)：250片/每爐管（125mm×125mm） 192片/每爐管（156mm×156mm）
3. 壓力調節范圍：13~300Pa連續可調，閉環控制
4. 溫度長度（150~500℃）：1000mm
5. 溫區穩定性：±2℃（450℃）
6. 淀積速率：30nm/min
7. 極限真空度：優于1Pa
8. 淀積膜均勻性：片內≤±5%
9. 射頻單元：進口RF電源,40/400KHZ連續可調 |
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