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供應(yīng)微電子專用活性劑 供應(yīng)微電子專用活性劑_天恒納米有限公司_供應(yīng)微電子專用活性劑

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公 司: 天恒納米有限公司
發(fā)布時間:2014年03月20日
有 效 期:2014年09月19日
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公 司:天恒納米有限公司

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詳細(xì)說明

    微電子專用活性劑(3%~5%)            UPP/MS01
微電子專用活性劑(8%~12%)          UPP/MS02

產(chǎn)品簡介

UPP/MS01、UPP/MS02型微電子專用活性劑是江蘇天恒納米科技股份有限公司生產(chǎn)的新一代半導(dǎo)體材料加工專用活性劑。它能有效將新加工表面的高能狀態(tài)降低為低能狀態(tài),使得顆粒等污染物在表面長期控制在易清洗的物理吸附狀態(tài),而不向難清洗的化學(xué)吸附狀態(tài)轉(zhuǎn)化,并在表面形成保護(hù)層,防止污染物的二次吸附,實(shí)現(xiàn)了把有害吸附轉(zhuǎn)化為無害吸附,是拋光、清洗工藝中不可缺少的添加劑。

主要特點(diǎn)

UPP/MS01、UPP/MS02型活性劑無金屬離子、溶解于水,對金屬離子有很強(qiáng)的螯合作用,且對酸堿溶液均有效,防止了堿、重金屬離子沾污片子而影響器件的電學(xué)特性,便于制備高純的半導(dǎo)體襯底鏡面。與美、日產(chǎn)品相比,能有效去除鏡面吸附微粒、有機(jī)物、金屬離子等各種污染物,而且該產(chǎn)品粘度低、高效、環(huán)保、無毒、無腐蝕。主要用途 
用于硅材料研磨、拋光、清洗工藝中控制粒子吸附狀態(tài),降低表面張力。


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