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供應RTP快速退火爐 供應RTP快速退火爐_鄭州成越科學儀器有限公司_供應RTP快速退火爐

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公 司: 鄭州成越科學儀器有限公司
發布時間:2014年02月24日
有 效 期:2014年08月26日
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王倩 女士 (銷售)
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電  話: 0371-55199322
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手  機: 18937183714
地  址: 中國河南鄭州市鄭州市高新技術開發區翠竹街6號
郵  編: 450000
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公 司:鄭州成越科學儀器有限公司

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詳細說明

    RTP快速退火爐的詳細描述:
    
該RTP快速退火爐采用:

   ■多重燈管設計以保證溫度均勻
   ■ 實時閉環溫度控制方式
   ■ 實時燈絲電流監測以保證工藝穩定可靠性
   ■ 安全監測,包括熱偶測溫檢測、過熱檢測、燈絲電流檢測
   ■ 用戶操作界面,使用非常簡便
   ■ 軟件全自動控制工藝過程,操作簡單,包括用戶分級使用權限管理
   ■ 菜單編輯、工藝數據記錄/查找、報警/報錯、用戶狀態等功能

RTP快速退火爐的主要技術參數如下 
加熱元件:鹵素電極;
電極數量:12支;
整機功率:7.2KW;
升溫速率:200℃/Second;
降溫速率:30秒(1000℃
→ 400℃);
*高溫度:1100℃;
溫度精度:+/-
1℃;
*大樣品尺寸:4英寸;
氣氛環境:真空、氣體(氮氣、氬氣、氧氣)、空氣;
真空系統:可根據實際需要選配無油機型泵或者分子泵

應用領域:
-快速熱退火 
 -
快速熱氧化 
- 快速熱氮化
 - 硅化 
- 擴散 
- 化合物半導體退火 
- 離子注入后退火
- 電極合金化
-
晶向化和堅化 
- 合金熔點分析;
- 薄膜沉積;  等等…


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