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供應(yīng)RTP快速退火爐 供應(yīng)RTP快速退火爐_鄭州成越科學(xué)儀器有限公司_供應(yīng)RTP快速退火爐

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公 司: 鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
發(fā)布時間:2014年02月24日
有 效 期:2014年08月26日
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王倩 女士 (銷售)
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電  話: 0371-55199322
傳  真: 0371-86036875
手  機(jī): 18937183714
地  址: 中國河南鄭州市鄭州市高新技術(shù)開發(fā)區(qū)翠竹街6號
郵  編: 450000
公司主頁: http://zzcyky.qy6.com.cn(加入收藏)
公 司:鄭州成越科學(xué)儀器有限公司

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詳細(xì)說明

    RTP快速退火爐的詳細(xì)描述:
    
該RTP快速退火爐采用:

   ■多重?zé)艄茉O(shè)計以保證溫度均勻
   ■ 實(shí)時閉環(huán)溫度控制方式
   ■ 實(shí)時燈絲電流監(jiān)測以保證工藝穩(wěn)定可靠性
   ■ 安全監(jiān)測,包括熱偶測溫檢測、過熱檢測、燈絲電流檢測
   ■ 用戶操作界面,使用非常簡便
   ■ 軟件全自動控制工藝過程,操作簡單,包括用戶分級使用權(quán)限管理
   ■ 菜單編輯、工藝數(shù)據(jù)記錄/查找、報警/報錯、用戶狀態(tài)等功能

RTP快速退火爐的主要技術(shù)參數(shù)如下 
加熱元件:鹵素電極;
電極數(shù)量:12支;
整機(jī)功率:7.2KW;
升溫速率:200℃/Second;
降溫速率:30秒(1000℃
→ 400℃);
*高溫度:1100℃;
溫度精度:+/-
1℃;
*大樣品尺寸:4英寸;
氣氛環(huán)境:真空、氣體(氮?dú)狻鍤狻⒀鯕猓⒖諝猓?
真空系統(tǒng):可根據(jù)實(shí)際需要選配無油機(jī)型泵或者分子泵

應(yīng)用領(lǐng)域:
-快速熱退火 
 -
快速熱氧化 
- 快速熱氮化
 - 硅化 
- 擴(kuò)散 
- 化合物半導(dǎo)體退火 
- 離子注入后退火
- 電極合金化
-
晶向化和堅化 
- 合金熔點(diǎn)分析;
- 薄膜沉積;  等等…


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