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供應AE CESAR 1330射頻電源

供應AE CESAR 1330射頻電源_深圳市昊光機電科技應用有限公司_供應AE CESAR 1330射頻電源

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公　司：深圳市昊光機電科技應用有限公司

發布時間：2015年10月12日

有效期：2016年04月12日

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王明先生 (業務部經理)

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電　　話： 0755-26985163-813 傳　　真： 0755-26991745 手　　機： 13928453655 地　　址：中國廣東深圳市龍崗區坪地鎮高橋產業區麻沙旭達工業區1棟郵　　編： 518000
公司主頁：	http://infobright.qy6.com.cn(加入收藏)

詳細說明

    強大而多功能的 Cesar® 射頻電源平臺可提供非常穩定的射頻功率輸送性能，以及一個多樣化的模式選擇，每種模式都具有一套獨特的功能（2、4、13.56、27.12和40.68 MHz；0.3至5 kW；擁有多種用戶界面和輸入選擇），從而使您能夠選擇一套特別適合您應用的組件——而無需定制發生器所需的漫長交付期。

高質量的組件和較少的零件數量使可靠性和產品生命周期均實現*優化，從而使您的投資和制程生產力得到*大化的利用。一個全面而高度靈敏的操作菜單（可在該組件的多功能前面板上找到，并顯示在一個大的液晶顯示屏上）帶來了無與倫比的便利性——提高了操作人員的效率，并使培訓成本*小化。
典型應用：
高密度等離子體化學氣相淀積（HDP CVD）
等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）
刻蝕-RIE/ICP
物理氣相沉積
等離子清洗

優點
•  更長的制程正常運行時間
•  更高的操作簡易性和靈活性
•  無需定制組件提前期的定制化性能
•  長期的使用簡易性，節省成本
功能
•  精簡的流線型設計
•  標準的平臺包裝
•  高效率——低發熱量
•  200和400 VAC 的輸入選擇
•  兩個模擬用戶端口選擇
•  RS-232、以太網及 Profibus 通訊
•  多功能前面板
•  便利、全面的操作菜單
•  CEX（相位同步）操作模式

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