光罩技術(shù)的GM超高精度影像式測(cè)量?jī)x系列,為七海首創(chuàng)之專利光罩技術(shù)制造而成,此技術(shù)已獲美國、臺(tái)灣及大陸等地區(qū)的發(fā)明和創(chuàng)新專利。此類機(jī)種的精度幾乎不受機(jī)械誤差及阿貝誤差影響,尤其是X、Y軸行程在600mm × 500mm以上的機(jī)型,無論是XY軸向精度,還是XY平面坐標(biāo)精度皆能在5μ內(nèi),其精準(zhǔn)度比所有百萬價(jià)值內(nèi)的德國、日本或其它國外進(jìn)口的機(jī)器更精準(zhǔn)。
『參數(shù)』:
重現(xiàn)性 < 0.002mm 臺(tái)面大小 920*1018mm
解析力標(biāo)準(zhǔn) 0.001mm 機(jī)臺(tái)重量 750kg(包括機(jī)架)
平面精度 3+5L/1000μm 影像放大倍率 30x-225x
示值精度(X、Y) 3+5L/1000μm 光學(xué)放大倍率 0.7X-4.5X
工作行程(X/Y/Z) 700*600*100mm CCD 專用彩色1/3英寸高解析520TV線
外形尺寸(WxDxH) 911*1350*1680mm 可選配置 無死角旋轉(zhuǎn)燈、自動(dòng)變倍鏡頭
測(cè)量范圍(X*Y*Z) 700*600*100mm 工作行程 700*600*100mm
影像攝取系統(tǒng) sony芯片高解析彩色CCD 測(cè)量理論 晶元光罩絕對(duì)坐標(biāo)系統(tǒng)
鏡頭 SEVEN OCEAN OPTICAL 自動(dòng)變焦鏡頭 控制系統(tǒng) 全自動(dòng)閉環(huán)控制系統(tǒng),日本松下PANASONIC伺服閉環(huán)控制系統(tǒng)
工作臺(tái)結(jié)構(gòu) 00級(jí)花崗巖 儀器結(jié)構(gòu) 00級(jí)花崗巖
電源 220V 50±5HZ 功率 1KW
溫度范圍 20±5℃ 1℃/h 2℃/24h 1℃/m 濕度 40%-70%
震動(dòng) < 30HZ 工作臺(tái)承重 3-5KG均布
『*新技術(shù):晶元光罩技術(shù)——多國發(fā)明專利』:
• ◇ 純軟件工作平臺(tái)
• ◇ 專利特殊光學(xué)技術(shù)無阿貝誤差
• ◇ 非龍門式大型外架設(shè)計(jì),動(dòng)量降至*低,無剛性不足與運(yùn)動(dòng)遲滯之問題
• ◇ 平面絕對(duì)坐標(biāo)測(cè)量
• ◇ 不需要光柵尺、不需要編碼器
『專業(yè)測(cè)量軟件』:
• ※ CNC電動(dòng)桌面(以軟件功能控制工作臺(tái)面,增加操作人員使用上及操作上的方便性)
• ※ 有強(qiáng)大的環(huán)形、矩形陣列功能, 并能運(yùn)行CNC自動(dòng)測(cè)量。
• ※ CNC自動(dòng)測(cè)量編程:可以自定義控制表面光(上燈光源)、穿透光(底光)、各種角度光(旋轉(zhuǎn)燈)、CCD對(duì)比度來做CNC自動(dòng)測(cè)量,避免了以前用底光做CNC的局限性。
• ※ CNC自動(dòng)測(cè)量編程:可以編程有高度差的測(cè)量,并且可以自定義客戶坐標(biāo)進(jìn)行編程與保存。
• ※ 存檔照片輸入與實(shí)時(shí)影相中的實(shí)際工件進(jìn)行對(duì)比功能
• ※ 實(shí)時(shí)影像中可任意設(shè)置坐標(biāo)原點(diǎn)(0,0)
• ※ 輸出到AutoCAD圖形自動(dòng)擺正功能
• ※ 可輸入AutoCAD的標(biāo)準(zhǔn)工程圖進(jìn)入實(shí)時(shí)影像中與實(shí)際工件對(duì)比功能
• ※ 鳥瞰功能:可檢視當(dāng)前繪圖位置
• ※ 直接用鍵盤輸入圓及線段功能
• ※ 直接畫線、圓、弧時(shí),可以同時(shí)在AutoCAD及本測(cè)繪儀軟體中同時(shí)生成相應(yīng)的圖形
• ※ 強(qiáng)大的去毛刺功能,可以自動(dòng)抓取線、圓、弧,減少了人為測(cè)量造成的誤差。
• ※ 首創(chuàng)智慧型取R角功能
• ※ 測(cè)量系統(tǒng):對(duì) 物體的長寬及 線、圓、弧、角度等進(jìn)行測(cè)量與標(biāo)注
• ※ 繪圖系統(tǒng):畫線、圓、弧及線段之垂直線、水平。
• ※ 亦可修改圖形,并將圖形輸入到AutoCAD
• ※ 圖形輸入到AutoCAD中,可將當(dāng)前影像拍下以JPEG格式儲(chǔ)存
• ※ 自動(dòng)定位,自動(dòng)擺正
• ※ DXF、DRL文件調(diào)入自動(dòng)測(cè)量
• ※ 線寬線距快速測(cè)量
• ※ 自動(dòng)對(duì)焦:電腦自動(dòng)判斷影像的*佳清晰面。 |
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