FF型復合分子泵
安捷倫渦輪分子泵
TY系列復合分子泵
性能優異：整體型復合轉子，強度高、性能穩定，潔凈無油；可靠性高：成熟的軸系結構和優化的減震方案；潔凈無油：采用脂潤滑精密陶瓷軸承，無油蒸汽污染；任意角度：可任意角度安裝，便于系統集成；易于集成：體積小、重量輕、任意角度安裝；使用方便：配件齊全，可提供靈活的客戶定制方案；水、電、氣等接口連接簡單方便，客戶可以根據環境和使用條件自主選擇風冷或水冷；應用廣泛：適用質譜分析、表面科學、激光、薄膜沉積、鍍膜、離子刻蝕、核物理研究實驗室科研等領域
安捷倫渦輪分子泵經過優化設計，可以在低壓強內實現高壓縮比，在大抽氣量和高前級壓強是實現*大的壓差。該泵為無油、無污染型，并且具有非常低的故障率，可以在任何角度工作而不對材料施加應力。典型的 MTTF 超過 250000 小時。渦輪分子泵的應用范圍包括高能物理和研究、納米技術、質譜技術、工業真空加工和半導體，并可用作掃描電子顯微鏡 (SEM) 的專用泵。
功耗更低、性能更佳；通過減少發熱而節能，并提高可靠性為風冷而優化的冷卻翅片；通過降低工作溫度進一步提高可靠性；具有優化的幾何尺寸；功率要求低，前級耐壓高及可承受高氣載；可拆卸的前級連接器；可連接各種前級泵；冷卻方式靈活（風冷或水冷）。
TY系列復合分子泵有渦輪分子泵和盤式牽引泵組合而成，它同時具有渦輪分子泵分子流時抽速大、壓縮比高，牽引泵高壓強時抽速大、壓縮比高的特點，擴展了分子泵的應用范圍。
復合分子泵對被抽氣體無選擇性、無記憶性效因，由于對分子量大的氣體有很高的壓縮比，因此該泵不需要冷阱和油擋板即可獲得清潔的高真空和超高真空。其廣泛應用于光伏、照明、宇航、半導體、能源、軍工、激光、家電、材料、汽車等真空技術的各個領域。 |
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