S49 33M/MT型質量流量控制器(流量計)技術指標
編號 項目 S49 33/MT
1 流量規格 (5,10,30,50,100,200,300,500)mL/min
(1,2,3,5,10) L/min (15,20,30) L/min
2 調節閥類型 電磁調節閥
3 調節閥靜止位置 常閉
4 準確度 ± 1.0% F.S ± 2.0% F.S
5 線性 ±1.0 % F.S，±2.0 % F.S
6 重復精度 ±0.2 %F.S
7 響應時間 ≤8 s（T95）
8 工作壓差范圍 (50 ～ 300) kPa； (10～30)L/min (100～300)kPa
9 耐壓 3 MPa ﹑ 10 MPa
10 工作環境溫度 5℃ ～ 45℃
11 材料 不銹鋼316L
12 標準密封材料 Viton®﹑EPDM, 或其他
13 漏率 1×10-8 Pa.m3/s
14 接頭 Ф3mm～Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR)，
軟管接頭Ф4mm～Ф10mm 或其它
15 輸入輸出信號 0 V ～ +5.00 V
(輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)
16 電源 +15 V 50 mA
-15V 200 mA
17 外形尺寸 mm 134×134×38
18 重量 kg 1.2
注意： S49系列質量流量控制器(流量計)分不同的流量范圍，供用戶選擇，也可根據用戶提出流量定制。
特點及應用領域
氣體質量流量控制器（流量計）（Mass gas flow controller（meter））縮寫為MFC(MFM)）是對氣體的質量流量進行精密測量和控制的設備。
S49系列質量流量控制器(流量計)特點：
*采用主體不銹鋼（316L）結構，與氣體接觸部分采用鐵素體高耐腐蝕軟磁不銹鋼、VITON®、聚四氟乙烯等
*適用于各種腐蝕性氣體
*氣體流量不因溫度、壓力的變化而失準
*高精度
*重復性好
*響應速度快、軟啟動、穩定可靠
*低壓降
*工作壓力范圍寬（可以在高壓或真空條件下工作）。
*操作使用方便，可任意位置安裝
*便于與計算機連接實現自動控制。
S49系列質量流量控制器(流量計)主要應用領域：
*半導體制造行業的氣體流量控制
*分析儀器設備的氣體計量與控制
*各種形式的真空鍍膜設備
*環境檢測與分析設備
*化工、石化、食品行業氣體流量監測和控制
*特種材料表面處理裝置與燃燒控制
*混氣配氣系統和泄漏探測系統等 |
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