*大工作壓力達3MPa
控制精確,操作簡單
BA級潔凈管道連接
使用氣體種類多(可達30多種)
*高工作溫度5~50℃。
國際主流通用管道連接方式。密封更可靠,壽命更長
閥門與介質接觸部分的零件材料為不銹鋼、聚四氟乙烯。
高精度控制多種氣體混合比例,實現不同氣體比要求
安裝方便。
系統參數
氣體傳輸:4-8種氣體 , Swagelok卡套連接氣體類型:30種進氣壓力:0.1-0.4MPA
控制閥動作型式:常閉式
響應時間(sec):1S
工作壓差:0.05~0.5MPA
*大耐壓:3MPA控制原理:質量流量控制,每個出口單獨控制流量:50SCCM,100SCCM,500SCCM可定做
采用溫度變化對應于質量流量的原理,可以對不同的氣體進行流量量測及控制,并且不會受到溫度及壓力變化的影響其他流速可選擇 ,其他氣體可選擇準確性: 優于1%數據:輸出的數據轉換為標準狀態下的質量( 1個大氣壓,0度)
標準狀態規定為:
標準溫度………………0℃(273.15K)
標準壓強………………101325Pa
控制顯示方式:電腦操作
精確控制兩種不同氣體流量大小,使用其按不同比例(量)均勻混合,并精確控制混合氣體流量大小。
可通過電腦軟件控制及采集流量信號 |
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