產品特點
*大工作壓力達3MPa
控制精確，操作簡單
BA級潔凈管道連接
使用氣體種類多（可達30多種）
*高工作溫度5～50℃。
國際主流通用管道連接方式。密封更可靠,壽命更長
閥門與介質接觸部分的零件材料為不銹鋼、聚四氟乙烯。
高精度控制多種氣體混合比例，實現不同氣體比要求
安裝方便。
系統參數
氣體傳輸：4-8種氣體 ， Swagelok卡套連接氣體類型:30種進氣壓力：0.1-0.4MPA
控制閥動作型式：常閉式
響應時間(sec)：1S
工作壓差：0.05～0.5MPA
*大耐壓：3MPA控制原理：質量流量控制，每個出口單獨控制流量：50SCCM，100SCCM，500SCCM可定做
采用溫度變化對應于質量流量的原理，可以對不同的氣體進行流量量測及控制，并且不會受到溫度及壓力變化的影響其他流速可選擇 ，其他氣體可選擇準確性： 優于1%數據：輸出的數據轉換為標準狀態下的質量（ 1個大氣壓，0度）
標準狀態規定為：
標準溫度………………0℃（273.15K）
標準壓強………………101325Pa
控制顯示方式：電腦操作
精確控制兩種不同氣體流量大小，使用其按不同比例（量）均勻混合，并精確控制混合氣體流量大小。
可通過電腦軟件控制及采集流量信號
說明
氣體為特殊氣體，對相關使用產品均有特殊要求。 |
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