LF400系列采用溫度變化對應(yīng)于質(zhì)量流量的原理，可以對不同的氣體進行流量量測及控制。
可應(yīng)用在5SCCM到30SLM的氣體流量范圍，并且不會受到溫度及壓力變化的影響。
產(chǎn)品系列完整，可選擇數(shù)字式，模擬式，普通，高精度，高壓力型，性能且價格具有競爭力，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛。
功能 流量計/控制器
基本型號 LF400-F
滿量程流量范圍(N2) SCCM 0～5，10，20，30，50，100，200，500
SLM 0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30
精度(％F.S) ±1(≤15SLM)
±1.5(＞15SLM.)
控制閥動作型式 常閉式
線性(％F.S.) ±0.5～1(≤15SLM)
±1.5％(＞15SLM.)
重復(fù)精度(％F.S.) ±0.2
響應(yīng)時間(sec) ≤1
流量輸出信號 0-+5 DCV
流量設(shè)定信號 0-+5 DCV
電器接頭 DB15 pin(接頭)
工作環(huán)境溫度 (℃) 5～45
工作壓差 (MPa) 0.1～0.5
漏率 SCCSHe 1×10-9
*大耐壓 15MPa
介質(zhì)接觸材質(zhì) 304，316，316L
密封材料 氟橡膠，硅橡膠，丁腈橡膠，聚四氟乙烯
接頭尺寸 VCR 1/4、1/2
Swagelok1/8”、1/4” 、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm
電源要求 +15V,50mA;-15V,200mA |
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