LF400系列采用溫度變化對應于質量流量的原理，可以對不同的氣體進行流量量測及控制。
可應用在5SCCM到10SLM的氣體流量范圍，并且不會受到溫度及壓力變化的影響。
產品系列完整，可選擇數字式，模擬式，普通，高精度，高壓力型，性能且價格具有競爭力，應用領域廣泛。
功能 流量計/控制器
基本型號 LF400-M
滿量程流量范圍(N2) SCCM 0～5，10，20，30，50，100，200，500
SLM 0～1, 2, 3, 5, 10
精度(％F.S) ±1
控制閥動作型式 常閉式
線性(％F.S.) ±0.5～1
重復精度(％F.S.) ±0.2
響應時間(sec) ≤1
流量輸出信號 0-+5.00V
流量設定信號 0-+5.00V
電器接頭 DB15 pin(接頭)
工作環境溫度 (℃) 5～45
工作壓差 (MPa) 0.1～0.5
漏率 SCCSHe 1×10-9
*大耐壓 3MPa
介質接觸材質 304，316，316L
密封材料 金屬密封
接頭 VCR " 1/4、1/2
Swagelok1/8”、1/4” 、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm
接頭和尺寸 Φ6mm,1/4"Swagelok:127×28×100mm
1/4"VCR:127×28×100mm
電源要求 +15V,50mA;-15V,200mA |
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