品 質 特 征
u 大理石底座，高鋼性鑄鋁立柱，保證具有極高的穩定性及剛性。
u 精密V型導軌和滾珠螺桿，配直流伺服馬達全閉環控制，高穩定性、高精度、速度快。
u 美國TEO高分辨率600線彩色攝像機,保證擁有高品質的測量畫面.
u 手動變倍卡位鏡頭,（改變倍率后不需要重新選取比例尺）。
u 可程控三環八區LED表面冷光源、直軸輪廓冷光源，使光源對測量要求的適性更加強大。
u 精密光學尺0.001mm。
u 自主研發功能強大的全自動3D測量軟件，可全自動測量。
技 術 參 數
儀器型號 QV3020 QV4030
儀器參數
測
量
范
圍
（mm） X 300 400
Y 200 300
Z 150 150
工
作
臺
（mm） 硬鋁合金臺面 460*360 560*460
玻璃臺面 360*260 460*360
承重 30kg 30kg
影
像
及
測
量
系
統 測量速度 MAX:200mm/s
CCD 美國TEO高分辨率彩色攝像機600TV線
變焦物鏡 手動變倍卡位鏡頭0.7－4.5X(選配同軸光)
視頻放大倍率 30－230X
工作距離 82mm
顯示分辨率 0.0001 mm
運動控制系統 全閉環控制：直流伺服系統
重復性 1.5um
測量精度(μm) XY軸≦(3+L/200)um, Z軸(光學測量）≦(5+L/200)um |
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