SFT9500的X射線發生系統是X射線聚光系統聚光導管與X射線源相結合，產生束斑直徑為0.1mm以下高強度的X射線束。 所以SFT9500可以對以往由于X射線照射強度不足而導致無法得到理想精度的導線架、接插頭、柔性線路板等微小零件及薄膜進行測量。同時，SFT9500采用了高計數率、高分辨率的半導體檢測器無需液氮，在測量鍍膜厚度的同時，對于歐盟的RoHS ELV法規所限制的有害元素的分析測量也十分有效。
由于采用了X射線聚光導管方式，可得到以往十倍以上的X射線強度，從而可以提高微小樣品的膜厚測量及有害物質測量的精度。
★ 無需液氮的半導體檢測器
在進行薄膜測量與有害物質的濃度測量時，高分辨率的檢測器是必不可少的。SFT9500的檢測器不但可以達到高分辨率，而且可以實現高計數率。同時，由于使用了電子冷卻方式，所以無需液氮。
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