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供應(yīng)LPCVD（低壓化學(xué)汽相淀積）系統(tǒng)

供應(yīng)LPCVD（低壓化學(xué)汽相淀積）系統(tǒng)_青島華旗科技有限公司_供應(yīng)LPCVD（低壓化學(xué)汽相淀積）系統(tǒng)

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公　司：青島華旗科技有限公司

發(fā)布時間：2014年02月07日

有效期：2014年08月09日

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丁小姐女士 (市場部)

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電　　話： 0532-55569578 傳　　真： 0532-55569579 手　　機(jī)： 13953203069 地　　址：中國山東青島市城陽區(qū)雙元路西（空港工業(yè)園內(nèi)）郵　　編： 266109
公司主頁：	http://jchqtec.qy6.com.cn(加入收藏)

詳細(xì)說明

產(chǎn)品應(yīng)用：用于2-6英寸多晶硅、氮化硅、氧化硅薄膜生長工藝及其摻雜如PSG或BPSG等

產(chǎn)品特點(diǎn)：
◆主機(jī)為水平三管爐系統(tǒng)構(gòu)架，獨(dú)立完成不同的工藝或相同工藝
◆工業(yè)計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)，對爐溫、進(jìn)退舟、氣體流量、閘門等動作進(jìn)行自動控制
◆采用懸臂送片器，操作方便、無摩擦污染等
◆關(guān)鍵部件均采用進(jìn)口，確保設(shè)備的高可靠性
◆工藝管路采用進(jìn)口閥門管件組成-氣密性好、耐腐蝕、無污染（管路均采用EP級電拋光管），流量控制采用進(jìn)口質(zhì)量流量計(jì)（MFC）
◆工作壓力閉環(huán)自動控制，提高工藝穩(wěn)定性和可靠性
◆控溫精度高，溫區(qū)控溫穩(wěn)定性好
◆具有斷電報警、超溫報警、極限超溫報警等多種安全保護(hù)功能
◆高質(zhì)量的加熱爐體，確保恒溫區(qū)的高穩(wěn)定性及長壽命

主要技術(shù)指標(biāo)
◆工作溫度：300～1000℃
◆適應(yīng)硅片尺寸：2～6英寸
◆裝片數(shù)量：30～100片/管
◆工藝管數(shù)量：1～3管（可選擇）
◆恒溫區(qū)長度： 760mm±1℃（熱壁式，可形成溫度梯度）
◆極限真空度： 8.0× 10 -1 Pa（約6.0× 10 -3Torr）
◆工作真空度： 10 ～ 1000Pa可調(diào)
◆淀積膜均勻性：片內(nèi)≤±5%
◆控制系統(tǒng)：整機(jī)控制系統(tǒng)采用工業(yè)控制計(jì)算機(jī)（WINDOWS 系統(tǒng)界面，操作方便簡潔）
◆氣源系統(tǒng)：進(jìn)口閥管件、自動軌道焊接
◆典型工藝（僅供參考）：
①氮化硅淀積：提供典型工藝氣路（具體根據(jù)用戶的工藝要求調(diào)整）
參考工藝類型： 3 NH3+4SiH4 → Si3N4+12H2 ……
②多晶硅淀積：提供典型工藝氣路（具體根據(jù)用戶的工藝要求調(diào)整）
參考工藝類型： SiH4 → Si+2H2 ……
③ 二氧化硅淀積：提供典型工藝氣路（具體根據(jù)用戶的工藝要求調(diào)整）
參考工藝類型： Si(OC2H5)4 → SiO2+ 4C2H4+2H2O （ DCS/N2O 等） ……
PSG: TEOS-O2 體系， + 磷烷（亦可磷酸三甲酯、三氯氧磷）
BPSG: 在 PSG 中加入 B2H6 （硼烷）或硼酸三甲酯
---- 薄膜淀積工藝（相應(yīng)的摻雜 - 僅供參考，具體根據(jù)客戶的情況作相應(yīng)的調(diào)整）。

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