我公司能夠為各種擴散爐提供完整的全系列高質量加熱爐體，技術性能指標不低于原設備用爐體。以我公司的加熱體專有技術制造的爐體將提供更寬的工藝溫度范圍及更高的恒溫區精度以及更長的使用壽命。
技術特點：
優質加熱絲：KANTHAL‘APM A-1 AF D及HRE…
絕熱材料：PMF T2 T3…晶體纖維等
絕緣子：高純剛玉
端口過渡環：氧化鋁氧化鋯等真空成型。
用途：半導體擴散爐 燒結爐等
◆滿足4"-8"立式、臥式晶圓擴散爐"
◆完整的產品系列，滿足該產品的
◆進口替代先進的材料及制造技術
◆質量技術指標優異
◆使用溫度：室溫-1300℃±0.5℃
◆高溫型、普通型、快速升降溫型
臥式爐體 立式爐體
爐體型號 JH300I-XX JH300II-XX JV500I-XX JV500H-XX
爐體口徑 Φ100～Φ300 Φ100～Φ300 Φ200～Φ500 Φ200～Φ500
工作溫度 200℃～1200℃ 400℃～1300℃ 200℃～1200℃ 400℃～1300℃
殼體 不銹鋼薄板 不銹鋼薄板 不銹鋼薄板 不銹鋼薄板
加熱絲 Fe-Cr-Al-Y 高溫Fe-Cr-Al-Y Fe-Cr-Al-Y 高溫Fe-Cr-Al-Y
絕熱材料 氧化鋁纖維 高溫晶體纖維 氧化鋁纖維 高溫晶體纖維
端口 氧化鋁真空成型 氧化鋁真空成型 氧化鋁真空成型 氧化鋁真空成型
按客戶的爐型要求，可內襯高純剛玉管或SiC管
供貨類型：
爐體按結構形式分為：臥式爐體、立式爐體
按工藝溫度分為：高溫爐體、低溫爐體以及快速升降溫爐體
提供完整的相關配件
■熱偶系列
■真空成型過渡環、端口
■按客戶要求的各種特異爐體
For Diffusion Oxidation Lpcvd Pecvd Procss
歡迎索取相應詳盡的技術資料及共研相應項目的解決方案。 |
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