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供應(yīng)光刻機(jī),光刻機(jī)價(jià)格,國(guó)產(chǎn)光刻機(jī),芯片光刻機(jī),中國(guó)光刻機(jī),成都光刻機(jī) 供應(yīng)光刻機(jī),光刻機(jī)價(jià)格,國(guó)產(chǎn)光刻機(jī),芯片光刻機(jī),中國(guó)光刻機(jī),成都光刻機(jī)_成都科奧達(dá)光電技術(shù)有限公司_供應(yīng)光刻機(jī),光刻機(jī)價(jià)格,國(guó)產(chǎn)光刻機(jī),芯片光刻機(jī),中國(guó)光刻機(jī),成都光刻機(jī)

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公 司: 成都科奧達(dá)光電技術(shù)有限公司
發(fā)布時(shí)間:2013年10月24日
有 效 期:2014年04月22日
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光刻機(jī)/紫外曝光機(jī)(Mask Aligner) 又名:掩模對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī),曝光系統(tǒng),光刻系統(tǒng)等。常用的光刻機(jī)是掩膜對(duì)準(zhǔn)光刻,所以叫 Mask Alignment System.
一般的光刻工藝要經(jīng)歷硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對(duì)準(zhǔn)曝光、后烘、顯影、硬烘、刻蝕、等工序
Photolithography(光刻) 意思是用光來(lái)制作一個(gè)圖形(工藝);
在硅片表面勻膠,然后將掩模版上的圖形轉(zhuǎn)移光刻膠上的過(guò)程將器件或電路結(jié)構(gòu)臨時(shí)“復(fù)制”到硅片上的過(guò)程。

分類
光刻機(jī)一般根據(jù)操作的簡(jiǎn)便性分為三種,手動(dòng)、半自動(dòng)、全自動(dòng)
A 手動(dòng):指的是對(duì)準(zhǔn)的調(diào)節(jié)方式,是通過(guò)手調(diào)旋鈕改變它的X軸,Y軸和thita角度來(lái)完成對(duì)準(zhǔn),對(duì)準(zhǔn)精度可想而知不高了;
B 半自動(dòng):指的是對(duì)準(zhǔn)可以通過(guò)電動(dòng)軸根據(jù)CCD的進(jìn)行定位調(diào)諧;
C 自動(dòng): 指的是 從基板的上載下載,曝光時(shí)長(zhǎng)和循環(huán)都是通過(guò)程序控制,自動(dòng)光刻機(jī)主要是滿足工廠對(duì)于處理量的需要,恩科優(yōu)的NXQ8000系列可以一個(gè)小時(shí)處理幾百片wafer。

性能指標(biāo)
光刻機(jī)的主要性能指標(biāo)有:支持基片的尺寸范圍,分辨率、對(duì)準(zhǔn)精度、曝光方式、光源波長(zhǎng)、光強(qiáng)均勻性、生產(chǎn)效率等。
分辨率是對(duì)光刻工藝加工可以達(dá)到的最細(xì)線條精度的一種描述方式。
光刻的分辨率受受光源衍射的限制,所以與光源、光刻系統(tǒng)、光刻膠和工藝等各方面的限制。
對(duì)準(zhǔn)精度是在多層曝光時(shí)層間圖案的定位精度。
曝光方式分為接觸接近式、投影式和直寫式。
曝光光源波長(zhǎng)為紫外、深紫外和極紫外區(qū)域,光源有汞燈,準(zhǔn)分子激光器等。


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