3M
FC 3283
3M氟化液FC-3283是無色透明全氟化學品，具有良好的化學惰性、電氣絕緣性能、熱傳導性和獨特的第表面張力廣泛應用于半導體制造廠作為熱傳導介質。其液體溫度范圍為-50°C 至128°C，主要應用于蝕刻設備、離子注入設備、測試設備及其他設備。因為FC-3283是單一組分，所以其成分不好出現降解或者過期。FC-3283沸點高，其隨時間的揮發也比較少。
FC 40
氟化液FC-40是無色透明全氟化學品，具有良好的化學惰性、電氣絕緣性能、熱傳導性和獨特的第表面張力廣泛應用于半導體制造廠作為熱傳導介質。其液體溫度范圍為-57°C 至 155°C，主要應用于蝕刻設備、離子注入設備、測試設備及其他設備。因為FC-40是單一組分，所以其成分不好出現降解或者過期。FC-40沸點高，其隨時間的揮發也比較少。
HFE 7200
HFE-7200
●主要成分：甲氧基-九氟代丁烷（C4F9OCH3）含量為99.5％，非揮發組分小于2.0pmm，
●特點：無色、無味、無毒、不燃燒，ODP值為零；表面張力低、黏度小、蒸發潛熱小。
●用途：特殊用途的溶劑、清洗劑、漂洗劑、無水流體、去焊劑和熱傳遞介質，主要用于電子儀表和激光盤片的清洗，顆粒雜物的去除，光學系統及精密場合下清洗。
●優點：由于性能最接近CFCs，可使用原有清洗設備，不需要增加設備投資，也不需要對工藝做大的改變。絕對環保，安全！
姚強
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繆星鑫
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