中科院RFG射頻電源與SP自動(dòng)匹配器
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網(wǎng)址:http://www.rf-power.net
作為中科院微電子所*新一代晶體管射頻電源(RFG系列)：
1.控制方式更靈活：全數(shù)字面板/模擬口/RS232/RS485/USB控制
2.使用壽命更長,功率控制更精密,功率輸出更穩(wěn)定,頻率精度更高
3.真彩色大屏幕液晶顯示正向功率反向功率
4.*低可實(shí)現(xiàn)1W的穩(wěn)定功率輸出
5.開機(jī)無需預(yù)熱
6.具有外部時(shí)鐘同步(CEX)功能，可同步多臺(tái)電源并克服之間的相互干擾
中科院SP型自動(dòng)匹配器產(chǎn)品特點(diǎn)及主要性能指標(biāo)：
1、自動(dòng)快速調(diào)節(jié)匹配網(wǎng)絡(luò)
2、實(shí)時(shí)顯示入射功率及反射功率變化， 指示精度 3%
3、顯示自偏壓
4、實(shí)時(shí)顯示電容位置變化，可明顯展示工藝阻抗變化的特征
5、采用真空電容調(diào)節(jié)（1KW以上）
6、具有自動(dòng)控制和手動(dòng)控制兩種模式
7、電壓輸入: 220v
8、提供配合射頻電源的反射功率保護(hù)信號(hào)，與射頻電源配合使用
9、直流電機(jī)驅(qū)動(dòng)，保證運(yùn)行期間合適的速率，從而提高匹配網(wǎng)絡(luò)的穩(wěn)定性
中國科學(xué)院微電子研究所射頻電源(RFGenerator)課題組(www.rf-power.net)從1984年開始研發(fā)電子管射頻電源(13.56MHz)，1985年研制成功，獲得“六五”攻關(guān)榮譽(yù)證書以及“FD-2反應(yīng)離子刻蝕機(jī)與超精細(xì)刻蝕研究”項(xiàng)目二等獎(jiǎng)。
從2010年開始受到極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝專項(xiàng)（國家02重大專項(xiàng)）資金支持，研發(fā)晶體管射頻電源，2011年研發(fā)成功300W-3000W晶體管射頻電源(13.56MHz)，獲得第七屆國際發(fā)明展覽會(huì)銀獎(jiǎng)與第七屆北京發(fā)明創(chuàng)新大賽金獎(jiǎng)。
經(jīng)過二十多年的發(fā)展完善，產(chǎn)品的性能不斷提高，規(guī)格齊全,年銷售電子管與晶體管射頻源占國內(nèi)市場份額的70%以上。
目前開發(fā)成熟的電子管與晶體管射頻電源產(chǎn)品有：300W、500W、1KW、1250W、1.5KW、2KW、3KW、5KW、6KW、8KW、10KW等多種規(guī)格以及不同功率的400KHz高頻電源及不同功率的穩(wěn)流源與自動(dòng)匹配器。
射頻電源廣泛應(yīng)用于等離子體研究，集成電路工藝設(shè)備，太陽能光伏工業(yè)，LED制程，薄膜生長，感應(yīng)加熱，醫(yī)療領(lǐng)域的消毒與理療，等離子清洗等領(lǐng)域。
產(chǎn)品現(xiàn)已售往北京、上海、杭州、蘇州、香港、南京、西安、成都、深圳等地的幾十所高校、科研單位及半導(dǎo)體設(shè)備廠等高技術(shù)公司，得到用戶的一致好評(píng)。 |
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