供應真空壓力開關|TiCrNx薄膜詳細參數介紹，真空壓力開關首選世安！
(1)XRD 分析結果表明，膜層主要以TiN、CrN 及Cr2N 形式存在。各
衍射峰存在一定的寬化和偏移，這主要是Cr 取代部分TiN 晶格中的Ti造成晶格畸變所致;TiN 相的擇優取向面由(111)向(220) 轉變，CrN 和Cr2N 相的擇優取向分別為(200)、(220)和(113)晶面;
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2）顯微硬度測試結果表明，樣品薄膜的硬度較TiN 單層膜有所下降，主要是因為薄膜沉積過程中熔融的液鈦或液鉻附著在薄膜表面，在薄膜表面形成大顆粒以及多弧離子自身存在缺陷微孔洞的形成，使得薄膜表面結構疏松，硬度值相對較低
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(3)結合力測試結果顯示，樣品薄膜的結合力在38 N 到44 N 之間。偏壓相同，陰極弧電流依次增大，結合力也增大。陰極弧電流相同，偏壓增高，結合力變大。 |
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