L65614-64J/ORB全功能微控擴散系統是生產半導體器件和大規模集成電路的重要設備。
1、系統組成：a)擴散爐主機 b)推拉舟及層流凈化臺 c)氣源柜 d)排毒柜 e）微機控制柜
2、擴散爐管數：1～4管/臺
3、爐管內徑：φ90㎜×240mm
4、恒溫區長度：≤600mm±1℃(300～800℃） ≤600mm±0.5℃(800～1250℃）
5、單點穩定性：±1℃/24h(300～800℃） ±0.5℃/24h(800～1250℃）
6、氣源路數：≤6路
7、氣源控制：MFC或浮子流量計
8、推拉舟行程：*大1500mm
9、推拉舟速度范圍及精度：（1～1000）±3mm/min
10、推拉舟位置控制精度：≤3mm
11、冷卻方式：水冷+風冷
12、微控部分采用STD總線功能模板
a)主CPU板：8031+32ROM+8KRAM+總線接口部件
b)信號調理板：完成對溫度過程的采樣、放大及高精度A/D的轉換
c)人機界面板：接收鍵入信息管理，并配置9”液晶顯示
d)推拉舟接口板：輸出推拉舟速度值，完成舟位置檢測，輸出推拉舟的運動指令
e)MFC接口板：輸出MFC設定值，將MFC的流量信息采入計算機
f)可控硅控制及形狀量輸出板：完成與可控硅觸發及開關量放大驅動器接口等功能
g)鍵盤：采用標準鍵盤或專用小鍵盤
h)電源板（非STD總線板）
i)可控硅觸發板：完成可控硅的過零觸發或移相觸發驅動(非STD總線板)
j)開關量驅動板：完成由STD總線板的數字信號(TTL電平)的轉換、放大，用于驅動氣路閥（非總線板）
k)推拉舟驅動部分：接收總線板輸出的推拉舟速狀態指令，并將位置轉換成標準信號輸出，有手動自動轉換
13、微機控制特點：
a)工藝溫度段數：1～14段，可選段運行
b)單段時間范圍：1～1080分鐘/斜變段 1～9999分鐘/恒溫段
c)三個溫度測控回路獨立修正溫度測量值 d)三個溫度測控點獨立修正溫度測量值
e)PID參數，溫度修正量可在線修改 f)溫度設定單位：℃ 分辨率：0.1℃
g)工藝段時間設定單位：min，分辨率：1min h)各類工藝數據斷電后長期保存。
i)工藝氣體流量，推拉舟運動狀態由微機實行閉環控制 j)中文顯示各類提示信息
k)各類輸入信息采用填表方式完成，條例清楚，邏輯合理。 |
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