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供應CCD光刻烤箱,CCD光刻潔凈烤箱,CCD光刻100級潔凈烤箱 供應CCD光刻烤箱,CCD光刻潔凈烤箱,CCD光刻100級潔凈烤箱_上海旦順實業有限公司_供應CCD光刻烤箱,CCD光刻潔凈烤箱,CCD光刻100級潔凈烤箱

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公 司: 上海旦順實業有限公司
發布時間:2018年09月05日
有 效 期:2019年03月07日
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蔣鑫 女士 (銷售經理)
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電  話: 4008238860
傳  真:
手  機: 15221744475
地  址: 中國上海奉賢區上海市奉賢區滬杭公路3217號
郵  編: 201615
公司主頁: http://done201002.qy6.com.cn(加入收藏)
公 司:上海旦順實業有限公司

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詳細說明

    在CCD(電荷耦合器件)制造過程中,顆粒沾污對CCD的薄膜質量、光刻圖形完整性等有很大的影響,降低CCD的成品率。CCD制造過程中的顆粒來源主要有兩個方面:一個制造過程中工藝環境產生的顆粒;另一個是薄膜的淀積、光刻和離子注入等CCD工藝過程中產生的顆粒。工藝環境的顆粒可來源于墻體、設施、設備、材料和人員,工藝過程的顆粒來源于易產生粉塵的工藝,比如說LPCVD淀積多晶硅和氮化硅及刻蝕工藝等。
本公司生產的COL-系列無塵烘箱,即使在普通環境下使用,能夠確保烘箱內部等級達到Class 100,為CCD(電荷耦合器件)制造過程中烘烤提供潔凈環境,預防顆粒沾污
無塵烘箱特點:
1:全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產器,防機臺本身所產生微塵;
2 :采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時產生 PARTICLE;
3:采平面水平由后向前送風后經美國進口H.E.P.A Filter 24"×24"×5-7/8"裝置往前門
(特殊風道設計)方向送風,過濾效率99.99%,Class 100,排氣口:3"φ(附自動啟閉風門)
技術參數:
1. 百級無塵烤箱型號:COL-2
2. 無塵烘箱工作尺寸(mm):W600×H600×D500
3. 溫度范圍:RT+60℃~300℃
4. 無塵烤箱潔凈度:100級;
5. 溫度均勻性: ±1.5%
6. 波 動 度:±0.5℃ 
7. 電    源:380V 50Hz  7.5KW;
8. 箱體材料:外箱采用 SS41# 中碳鋼板經磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆,可防止微塵(PARTICLE),內室材料:采用SUS304#無磁性鏡面不銹鋼,保溫材料:超細玻璃棉;  
9. 空氣循環裝置:大容量軸流電機;
10. 加熱方式:不銹鋼電加熱器;
11. 溫度測量傳感器:Pt100 鉑電阻;
12. 控制儀表:進口數顯溫度控制器,PID調節,控制精度0.1℃;
13. 超溫保護儀表:獨立于工作室主控制的超溫保護系統,保證試驗品的安全;
14. 控制系統:主要電器件均采用斯耐德、歐姆龍等進口元氣件;
15. 排 氣 口:ф50; 
16. 隔    板:2層,不銹鋼方通,承重約30KG。 
無塵烤箱熱線:021-37693997,15221744475 傳真:021-37832075聯系人:蔣鑫,
網站:www.done-e.com.


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