一,機(jī)器用途：
JT-220KJ-4/6/7/8/10型晶片擴(kuò)張機(jī)（擴(kuò)片機(jī)）被廣泛應(yīng)用與發(fā)光二極管、中小型功率三極管、背光源、LED、集成電路和一些特殊半導(dǎo)體器件生產(chǎn)企業(yè)內(nèi)的晶粒擴(kuò)張工序。
二,機(jī)器特點(diǎn)：
①采用雙氣缸上下控制；
②恒溫設(shè)計(jì)，膜片周邊擴(kuò)張均勻適度；
③加熱，拉伸，擴(kuò)晶，固膜一次完成；
④加熱溫度，擴(kuò)張時間，回程速度均勻可調(diào)；
⑤操作簡便，單班產(chǎn)量大；
⑥機(jī)器外型見實(shí)物。
整機(jī)采用高品質(zhì)零部件，所有加工部件都是用高強(qiáng)度鋁合金及不銹鋼制造。確保設(shè)備的耐久性。
三.技術(shù)參數(shù)：
1，電源電壓：220VAC（50Hz)士10%；
2，工作氣壓：4-6Kg/cm2:；
3，溫度范圍：室溫~350℃；
4，上氣缸行程：150/200mm；
5，下氣缸行程：100mm（可雙向調(diào)節(jié)）；
6，擴(kuò)張面積：120/270cm2；
7，外型尺寸：270x220x820mm(長x寬x高）；
8，機(jī)器重量：20Kg
四,操作步驟：
1，插上電源，氣管快速接頭接上高壓氣管；2，打開電源開關(guān)，將溫度設(shè)定于75℃（不同晶片膜溫差異士5℃）；3，將上氣缸開關(guān)撥至“上升”位置，上壓模回至最上方，將下氣缸開關(guān)撥至下降位置，下壓模回至最下方（反復(fù)幾次下氣缸動作，將上升速度調(diào)整至適合速度）4，松開鎖扣，掀起上工件板，先將擴(kuò)晶環(huán)內(nèi)環(huán)放于下壓模上，再將粘有晶片的翻晶膜放于下工件正中央，晶片朝上，將上工件板蓋上，鎖緊鎖扣。5，將下氣缸開關(guān)撥至“上升”位置，下壓模徐徐上升，薄膜開始向四周擴(kuò)散，晶粒間隔逐漸拉大，當(dāng)晶片間隔擴(kuò)散至原來的2~3倍時既停止上升，將擴(kuò)晶環(huán)外環(huán)圓角朝下平放在薄膜與內(nèi)環(huán)正上方。6，將上氣缸開關(guān)撥至“下降”位置，上壓模下降，將擴(kuò)散后的翻晶膜套緊定位，上壓模回至最上方。7，將下氣缸開關(guān)撥至“下降”位置，下壓模下降至最下方，取出擴(kuò)晶完畢的翻晶膜，修剪多余膜面，送下工序備膠固晶。
五,維護(hù)保養(yǎng)：
1，用干凈布塊擦拭附著灰塵，活動部位定期涂少許機(jī)油潤滑；
2，放置翻晶膜的位置必須干凈，附著的油脂及灰塵會污染晶片，造成不良品產(chǎn)生。
六,注意事項(xiàng)：
1，氣缸工作時切勿將手接近或放入壓合面；
2，下壓模表面切勿用銳器敲擊，磨擦，以免形成傷痕；
3，機(jī)器安裝時，應(yīng)正確可靠接地；
4，機(jī)箱內(nèi)電源危險，箱門應(yīng)鎖緊；
5，更換加熱管或其它電器元件時，需在電源插頭拔下時方可進(jìn)行；
6，切勿用帶水或溶劑的抹布擦拭機(jī)器，以免產(chǎn)生漏電或燃燒危險。 |
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