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臭氧又名三子氧，分子式為O3，分子量為48.00。
一、理化特性：臭氧在常溫下為帶藍色的爆炸性氣體，有特臭，為已知*強的氧化劑，密度為1.658(空氣=1)。臭氧氣體經冷處理后可呈液狀，其液體密度為1.71，沸點為-112.3℃,在水中溶解度比氧高，但因分壓較低，故在平時使用溫度與壓力下，只能得到每升數毫克的溶液，含臭氧的溶液，溫熱時會爆炸。臭氧的穩定性極差，在常溫下可自行分解為氧，在270℃高溫下可立即轉化為氧。1%水溶液在常溫大氣中半衰期為16分鐘，所以臭氧不能像其它工業氣體一樣可以用瓶貯存，一般為現場生產，立即使用。
二、殺菌作用：臭氧是一種廣譜殺菌劑，可殺滅細菌繁殖體和芽孢、病毒、真菌等，并可破壞肉毒桿菌毒素。臭氧在水中殺菌迅速較氯快。
三、影響殺菌作用的因素：
�、伲校龋河贸粞跛芤合緯r，若ＰＨ增高，則所需濃度必須增加。
�、跐穸龋河贸粞跹粝緯r，相對濕度高則效果好，低則效果差，對干燥菌體幾乎無殺菌作用。
�、蹨囟龋簻囟冉档陀欣诔粞醯娜芙�，可增強其消毒作用，甚至在０℃亦能保持較好的殺菌效果，如水溫為４－６℃時，臭氧殺菌用量為１００，水溫１０－２１℃時為１６０，水溫３６－３８℃時則為３２０，有機物可降低其殺菌作用。
四、毒性：空氣中臭氧濃度達０.01-0.02mg/L時即可嗅知：濃度達到1mg/L時，可引起呼吸加速、變、胸悶等癥狀，在２.5-5mg/L時，可引起脈搏加速，疲倦、頭痛，停留１小時可發生肺氣腫，以至死亡，作業現場空氣中容許的閥限值為０.2mg/m3.
五、腐蝕性：臭氧為強氧化劑,可損壞多種物品,濃度越高對物品損害越重,可使銅片出現綠色銹斑,特別是使橡膠老化,色變暗,彈性降低,以致變脆,斷裂,使織物漂白褪色.
六、穩定性:臭氧穩定性極差，常溫下即可自行分解為氧，停止發生后，通風３０－６０分鐘后，其濃度與大氣水平一樣．
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