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Pfeiffer 普發(fā)渦輪分子泵 HiPace 2300
上海伯東銷售維修 Pfeiffer 普發(fā)渦輪分子泵 HiPace 2300, 抽速*高可達(dá) 2050 l/s 高性能渦輪分子泵. 分子泵通過保護(hù)等級 IP54 認(rèn)證. 高抽速和氣體吞吐量. 集成驅(qū)動電路, 適用于半導(dǎo)體, 鍍膜, 工業(yè)和研發(fā)行業(yè). 通過分子泵控制器, 監(jiān)控操作數(shù)據(jù)保證分子泵的安全性. 集成水冷系統(tǒng). 分子泵 HiPace 2300 提供防腐蝕款 C 和倒置款 U 供選擇.
渦輪分子泵 HiPace 2300 特性
對各種氣體的高抽吸能力: 不論是小分子量氣體 (H2, He) 和大分子量氣體 (Ar, CF4) 都有很高的抽速.
高工藝適用性, 防止進(jìn)入顆粒, 高氣流量
分子泵獲得 SEMI S2, UL, CSA, TüV 認(rèn)證
防護(hù)等級 IP 54, 符合工業(yè)環(huán)境應(yīng)用要求
運(yùn)行數(shù)據(jù)監(jiān)控形成的運(yùn)行安全性
分子泵安裝角度可選 0-90° 或 90-180°
提供抗腐蝕型號
帶節(jié)流閥和閥門的集成凈化氣體系統(tǒng)
上海伯東德國 Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 2300 適用于半導(dǎo)體, 鍍膜, 工業(yè)和研發(fā)行業(yè).
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