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供應干式螺桿真空泵由于其優越的性能

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公　司：東莞市磊博機電設備有限公司

發布時間：2017年10月31日

有效期：2018年05月02日

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詳細說明

干式螺桿真空泵由于其優越的性能，里奇樂、凱尼和萊寶公司在單頭等螺距轉子型線基礎上均研發出單頭變螺距轉子型線，并將產品投放市場。除了使用一對非等距螺桿以外，變螺距螺桿式設計和等螺距螺桿式設計的基本原理非常相似。螺桿間容積的不斷減小使得其內部產生壓縮。這種設計由于產生內部壓縮而使得其耗電量降低到同多級泵相當的水平。但在很多工藝中，這種內部壓縮同多級泵一樣，極易造成氣體在泵體內的物理化學變化而產生固化或液化。而等螺距螺桿式設計中，氣體通路最短也最簡單。這樣，氣體在泵體內停留的時間也最短。雖然這種設計由于減少了內部的壓縮比而使得其耗電量相對較高，但在很多復雜的半導體工藝中表現出極高的穩定性。

　　

　　(2)泵體結構和冷卻：

　

　　螺桿真空泵結構主要由螺桿轉子、殼體、冷卻循環和密封件構成。傳動軸連接主動轉子，通過同步齒輪帶動從動轉子旋轉，在殼體上開有冷卻水通道，用來冷卻轉子和排氣口溫度，同步齒輪及軸承用油潤滑，軸承和殼體內部通過密封件來密封以達到無油的效果。干式螺桿真空泵同無油螺桿壓縮機在密封和潤滑上結構類似，一般真空泵的排氣端用機械式密封件，進氣側通常用雙唇形密封件。在傳動方式上，目前通用的是直連電機，用聯軸器與轉子連接，極少數用皮帶或者傳動鏈傳動。

　　等螺距螺桿泵由于無內壓縮過程，排氣溫度非常高，如冷卻效果不好，會造成轉子和機殼變形，影響抽氣效果。冷卻機殼是必不可少的一個環節，水冷是最常見的方法，在機殼本體、軸承外側通冷卻水，可以達到冷卻殼體進而冷卻轉子的目的。萊寶公司在轉子內部通水冷卻，增加轉子壽命，并達到很好的冷卻效果。但該結構設計，需要一定的技術及加工水平支持。

　　用水冷有時不能達到冷卻效果，因而通常在靠近排氣端轉子附近通冷卻氣體(多為氮氣)，現在國外的主流螺桿真空泵都采用這種方法。這種方法有幾個好處，*一，能冷卻轉子及機殼，降低排氣溫度；第二，當氣體內含有顆粒物時，能防止顆粒物沉積，或者發生化學反應引起爆炸。

　　2、國內外主要生產公司概況

　　(1)塔海爾公司的KDP，SDV系列螺桿真空泵，塔海爾公司收購了凱尼真空公司，凱尼是美國歷史上最悠久的從事真空獲得設備的專業制造公司，在螺桿真空泵制造方面也是處于世界領先地位，KDP系列為等螺距轉子的真空泵，SDV為變螺距螺桿泵，二者均為水冷系統，風冷系統可選擇。SDV是在KDP基礎上進行的改進，變螺距螺桿泵能實現氣體內部壓縮，使排氣溫度降低，同比等螺距節能30%；在轉子上采用NiFlon涂層，即*一層為Ni，第二層為PFA，即使PFA磨損了，Ni層也能實現防腐蝕，同時采用Kalrez全氟化橡膠密封圈。SDV系列是凱尼公司主推的螺桿真空泵。

　　(2)德國萊寶公司在2002年底正式推出的SREWLINE系列螺桿式無油壓縮真空泵是一種專門為工業應用(非半導體應用)設計的干式泵，它是一種全新的設計，是專門用來解決工業應用中艱苦的真空問題，如粉塵、焦油等。此泵也是采用變螺距轉子，有內壓縮過程，泵腔內無軸承和密封，大大降低了故障率，泵腔內沒有內部閥門，因而耐粉塵和焦油能力強，此泵的螺桿采用內部中空冷卻，可以降低轉子溫度和熱變形，螺桿壽命長。

　　(3)德國普旭公司的COBRAN系列螺桿泵，制程工藝最理想的真空泵，特別適用于化工和制藥行業的各工藝流程。普旭是世界上*大的真空泵、鼓風機和壓縮機的供應商之一，真空泵的質量較高，相比其他廠家，在歐洲市場占有率極高，價格偏貴。

　　(4)德國里奇樂的VSA/VSB系列，VSA系為等螺距轉子，市場評價較好，性能穩定。VSB系列是變螺距轉子設計(非線型齒形設計)，同其他幾家一樣，通過內壓縮來改變泵的功耗和排氣溫度，不用兩級壓縮中間冷卻，單級即可實現很高的真空度。在密封件上做了改進，靜態密封元件優選Viton材料，在有特殊要求的情況下選擇PTFE或者添加有PTFE的密封件。動態密封元件在真空泵吸入側用雙密封唇；真空泵排氣側用簡單的帶有防止氣體外溢的密封圈，以防止固體物質進入泵內。

　　(5)日本的幾個螺桿真空泵生產商。日本是應用螺桿真空泵非常多的國家，半導體和LCD行業應用廣泛，大晃株式會社的吉村將士等很早就在單頭等螺桿轉子方面申請了專利，在轉子上做了深入的研究。日立公司早期也做過螺桿泵方面的研究。

　　3、研究展望

　　干式螺桿真空泵國內的研究還處在起始階段，很多技術難題還沒有解決。比如轉子涂層防腐蝕技術、降低排氣口溫度、增大轉子面積利用率等問題仍然很棘手，當抽取一些活潑氣體時，由于排氣溫度高,安全性也是需要設計中考慮的，用在需要控制音量的場合，如何降噪也要成為研究方向。但其優越的性能決定了它一定會在真空獲得設備行業占主導地位，就像現在螺桿壓縮機在行內的統治地位一樣。

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