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進口不銹鋼EP、BA管道 進口不銹鋼EP、BA管道_昆山邁格諾潔凈材料有限公司_進口不銹鋼EP、BA管道

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公 司: 昆山邁格諾潔凈材料有限公司
發布時間:2013年09月09日
有 效 期:2014年03月11日
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公 司:昆山邁格諾潔凈材料有限公司

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詳細說明

    不銹鋼氣體管道

規格:EP、BA、AP

材質:316L.

尺寸:1/4"--6"

系列:TUBE、PIPE


管路的材質則依使用的需求進行選擇,若為制程用的反應氣體則選擇高等級的316L不銹鋼EP管道,經電解拋光(Electro-Polish)處理,耐腐蝕,表面粗糙度低,Rmax(maximum peak to valley height)約為0.3μm以下,其值遠低于經過光輝燒結(Bright Anneal)處理之316L BA管的0.8μm,因平整度越高越不容易形成微渦流,而將污染粒子帶出。316L 不銹鋼BA管則常使用于和芯片接觸但不參與制程反應的氣體,如GN2、CDA。管內表面粗糙度是衡量管材質量的標準。粗糙度越低,其顆粒攜帶可能性大大降低。另一種未經特殊處理的AP管(Annealing & Picking),則用于不做為供氣管路的雙套外管。

表面處理方式:
RA 值的比較(Roughness Average,粗糙度平均值)
材質        表面處理方式        內表面粗糙度平均值(um)
316L        AP                RA〈=1.0
316L        BA                RA〈=0.8
316L        EP                 RA〈=0.13-0.2


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