產品特點：
● 采用雙重閉環運動控制，電機在高速運動時具有精確的定位以及運動時的穩定性；
● 采用本公司開發的嵌入式模塊控制電機，提高了電機響應速度，還簡化了儀器與PC機的 接口，PC機與儀器通過USB線和S端子線連接；
● 采用花崗石平臺，外觀簡潔大方；
● 表面光由獨立四十八組光源組成，每一組均 為恒 流源驅動，連續可調；
● 配有我公司專用的全自動測量軟件Mclns，大大提高測量效率。
儀器型號 VMS-3020CNC VMS-4030CNC VMS-5030CNC
工
作
臺 金屬臺面尺寸(mm) 506×356 606×466 700×450
玻璃臺面尺寸(mm) 350×280 450×350 550×350
運動行程(mm) 300×200 400×300 500×300
儀器重量(kg) 140 240 290
外形尺寸(長X寬X高) (mm) 770×590×1100 950×700×1100 970×670×940
鏡頭 日本SONY CCD
X、Y、Z數顯解析度 1μm
X、Y坐標示值誤差 ≤(3+L/200)μm
電機 伺服電機： 日本
三軸運動速度： 100mm/s
三軸定位精度： 0.001mm
電源 AC110V/220V
消耗功率 <100W（不包括電腦） |
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