儀器簡介：
日本精工電子有限公司的子公司精工電子納米科技有限公司推出配備自動定位功能的[X射線熒光鍍層厚度測量儀SFT-110]，
使操作性進一步提高。 對半導體材料、電子元器件、汽車部件等的電鍍、蒸鍍等的金屬薄膜和組成進行測量管理，可保證產品
的功能及品質，降低成本。精工從1971年首次推出非接觸、短時間內可進行高精度測量的X射線熒光鍍層厚度測量儀以來，已經
累計銷售6000多臺，得到了國內外鍍層厚度、金屬薄膜測量領域的高度關注和支持。
為了適應日益提高的鍍層厚度測量需求，精工開發了配備有自動定位功能的X射線熒光鍍層厚度測量儀SFT-110。通過自動
定位功能，僅需把樣品放置到樣品臺上，就可在數秒內對樣品進行自動對焦。由此，無需進行以往的手動逐次對焦的操作，大大
提高了樣品測量的操作性。
近年來，隨著檢測零件的微小化，對微區的高精度測量的需求日益增多。SFT-110實現微區下的高靈敏度，即使在微小準直
器(0.1、0.2mm)下，也能夠大幅度提高膜厚測量的精度。并且，配備有新開發的薄膜FP法軟件，即使沒有厚度標準物質也可進行
多達5層10元素的多鍍層和合金膜的測量，可對應更廣泛的應用需求。
優點
1.即放即測
通過自動定位功能，放置樣品后僅需幾秒，便能自動對準觀察樣品焦點。
2.10秒鐘完成50nm的極薄金鍍層測量
以*佳的設計實現微小區域下的高靈敏度，即使在微小準直器（0.1、0.2mm）下，也能夠大幅度地提高膜厚測量的精度。
3.無標樣測量
將薄膜FP軟件進一步擴充，即使沒有厚度標準物質也能進行高精度的測量。也可簡單地測量多鍍層膜和合金膜樣品。
4.通過廣域觀察系統更方便選擇測量位置
通過廣域觀察系統，能夠從畫面上的樣品整體圖（*大250×200mm）中方便地指定測量位置
技術參數：
測量元素：原子序號22（Ti）～83（Bi）
X射線源：空冷式小型X射線管
檢測器：比例計數管
準直器：○型： 0.1mmφ、0.2mmφ 2種
樣品觀察：CCD攝像頭（可進行廣域觀察）
對焦：激光點（自動）
濾波器：一次濾波器： 自動切換
樣品臺尺寸： 500(W) x400(D) x 150（H）mm
樣品臺移動量：X：250mm, Y：200mm
操作部：電腦、19寸液晶
測量軟件：薄膜FP法 （*多5層膜、10種元素）、標準曲線法
數據處理：配備有Microsoft® Excel、Microsoft® Word
安全機構：樣品門連鎖、樣品的防沖撞功能、儀器診斷功能 |
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