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供應(yīng)自動溫控加熱板NHP-320

供應(yīng)自動溫控加熱板NHP-320_深圳市源順達電子機械有限公司_供應(yīng)自動溫控加熱板NHP-320

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公　司：深圳市源順達電子機械有限公司

發(fā)布時間：2020年05月19日

有效期：2020年11月18日

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公司主頁：	http://ysdchen.qy6.com.cn(加入收藏)

詳細說明

1、設(shè)備名稱與型號：自動溫控加熱板NHP-320
2、設(shè)備外觀圖：（見圖）
3、設(shè)備概要：本設(shè)備可以同時加熱30片2″wafer，片子通過PIN升降達到所有wafer加熱時間相同，克服因人工夾放wafer造成的工藝不穩(wěn)定問題。
4、設(shè)備規(guī)格：
1) 基板尺寸：2″wafer；
2) Through Put：30片/run；
3) 溫度范圍：20~150℃(Plate表面)；
4) HP材質(zhì)：AL+SALW（陽極處理）+Silastic Heater；
5) 加熱面尺寸：(W×D×H) 510×430×12(mm)；
6) 溫度分布：90℃ ±1℃；120℃±1℃；
7) 溫度Sensor：PT100型熱電偶；
8) 溫度表示：溫度調(diào)整器Digital表示；
9) 控制方式：Digital溫度調(diào)整器+SSR（PID）；
10) 設(shè)備外面尺寸：(W×D×H) 566×486×170(mm)；
11) 設(shè)備凈重：30Kg；
5、設(shè)備運作流程：
（1）.查看設(shè)備外觀無運輸破損后，將電源線插入~220V接線板插坐;插上供氣管
（2）.打開電源開關(guān)，設(shè)備自檢初始化，頂針(PIN)頂起
（3）.設(shè)置加熱溫度；設(shè)置工作時間
（4）.放上待加熱晶片
（5）.按開始鍵，頂針下落，晶片落下，貼緊加熱板，開始加熱，時間繼電器開始計時
（6）.時間到，頂針（PIN）同時頂起晶片，所有晶片同時離開熱板不再加熱，蜂鳴器響起提醒工作人員取下加熱均勻的晶片。
（7）.工作過程中，遇突發(fā)事件，可按停止按健，頂針立即頂起晶片，停止加熱，時間繼電器復(fù)位，方便隨時進行人工干預(yù)。
6、廠務(wù)要求：
項次項目內(nèi)容容量備注
1 電源 AC 220V 15A 50Hz
2 CDA >6Kg 穩(wěn)壓1.5Kg
3 供氣管 φ8mm 3Kg~10Kg

7、產(chǎn)品優(yōu)勢：
a) 30片/run，產(chǎn)能優(yōu)勢；
b) Silastic Heater溫度均勻性更高。

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