SH 系列空心熱陰極等離子鍍膜機電氣總成
特點: 本系統用于以空心熱陰極等離子電子束蒸發源(HCD槍)實現金屬材料蒸發的真空鍍膜設備,系統的電源部分全部采用高頻開關技術,相比傳統的可控硅(GTO)及接觸調壓器控制顯示出無比優越的性能,系統集成度、工作效率及穩定性極大提高。
系統組成
真空計 HY9940C(清華大學電子工程系)測量范圍覆蓋大氣到鍍膜機的極限真空值
質量流量控制 FLOW-1型四路氣體控制,可實現各種氣體之間的獨立或比例控制
機組控制 提供開機、裝具及鍍膜結束等工作流程所需的對設備主機操 控機構,并顯示相應單元工作狀態
電源控制 調節鍍膜所需電源參數,控制鍍膜流程各電源啟停時序
引束電源 [SOLICITATION]用于熱空心陰極產生等離子體電子束的誘導電源
主束電源 [DISCHARGE]用于維持熱空心陰極產生等離子體電子束的工作電源,此高密度等離子體電子束轟擊靶材使其蒸發
加速電源 [ACCELERATE]用于提供工件負偏壓,提高粒子運動能量,增加膜層附著力
聚焦電源 [MAGNETIC COIL]用于聚焦及偏轉電子束,修正電子束與靶材 的位置關系
槍集束電源 [GUN COIL]用于初步聚焦電子槍電子束
使用環境 環境溫度 0-40℃
環境濕度 相對濕度≤85%
空氣清潔 無粉塵 無腐蝕性易燃性氣體 通風良好
冷卻水 清潔 不含礦物質及其他可溶性物質
水溫 15-25℃
壓力 0.15±0.05Mpa |
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