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供應(yīng)SSPH系列高功率脈沖磁控濺射電源

供應(yīng)SSPH系列高功率脈沖磁控濺射電源_遵化市三石電子技術(shù)研究所_供應(yīng)SSPH系列高功率脈沖磁控濺射電源

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公　司：遵化市三石電子技術(shù)研究所

發(fā)布時間：2018年06月12日

有效期：2018年12月12日

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公司主頁：	http://flyingdance1127.qy6.com.cn(加入收藏)

詳細(xì)說明

SSPH系列高功率脈沖磁控濺射電源技術(shù)規(guī)格
SSPH系列高功率脈沖磁控濺射（HPPMS）電源工作于二級高頻變換模式，直流脈沖輸出。電源由供電及脈沖調(diào)制兩部分構(gòu)成，單個脈沖可輸出2-8兆瓦的瞬時功率。高功率密度的陰極材料將產(chǎn)生高的金屬離化率，并且不含靶材顆粒。電源適用于金屬工具膜層及裝飾膜層制備

電源功率范圍 12-25KW
輸入電源 AC380V三相四線制AC50-60HZ±10％
輸出方式直流窄脈沖
輸出電壓空載1000-2000V
輸出電流 1200A 2400A 3600A 4800A
滅弧時間 ≤3uS
脈沖頻率 *高500HZ
負(fù)載持續(xù)率 100%
冷卻方式風(fēng)冷
使用環(huán)境環(huán)境溫度 0-40℃
環(huán)境濕度相對濕度≤85％
空氣清潔無粉塵無腐蝕性易燃性氣體通風(fēng)良好
說明：電源的輸出功率可根據(jù)使用需要作相應(yīng)調(diào)整

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