一、應用范圍概述：
電解電容器生產鋁箔及工作件的清洗 電子管生產 電子管陰極涂敷碳酸鹽配液 顯像管和陰極射線管生產配料用純水黑白顯像管熒光屏生產 玻殼清洗、沉淀、濕潤、洗膜、管頸清洗用純水 液晶顯示器的生產 屏面需用純水清洗和用純水配液晶體管生產中主要用于清洗硅片，另有少量用于藥液配制集成電路生產中高純水清洗硅片等.
二、典型工藝流程
預處理系統－反滲透系統－中間水箱－粗混合床－精混合床－純水箱－純水泵－紫外線殺菌器－拋光混床－精密過濾器－用水對象（≥18MΩ.CM）(傳統工藝)
預處理－反滲透－中間水箱－水泵－EDI裝置－純化水箱－純水泵－紫外線殺菌器－拋光混床－0.2或0.5μm精密過濾器－用水對象（≥18MΩ.CM）(*新工藝)
預處理－一級反滲透－加藥機（PH調節）－中間水箱－第二級反滲透（正電荷反滲膜）－純水箱－純水泵－EDI裝置－紫外線殺菌器－0.2或0.5μm精密過濾器－用水對象（≥17MΩ.CM） (*新工藝)
預處理－反滲透－中間水箱－水泵－EDI裝置－純水箱－純水泵－紫外線殺菌器－0.2或0.5μm精密過濾器－用水對象（≥15MΩ.CM）(*新工藝)
處理系統－反滲透系統－中間水箱－純水泵－粗混合床－精混合床－紫外線殺菌器－精密過濾器－用水對象（≥15MΩ.CM）(傳統工藝)
三、達到標準
純化水標準，注射水標準 顯像管、液晶顯示器用純水水質（經驗數據）
集成電路用純水水質
國家電子級純水標準
美國SEMI標準 |
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