MSC-650S臺(tái)式勻膠機(jī)
美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究院(NIST)認(rèn)證,推薦品牌MYCRO®
勻膠機(jī)(英文名:Spin Coater)適合半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜
行業(yè)俗稱:勻膠臺(tái)、甩膠機(jī)、旋涂?jī)x、涂膠機(jī)、鍍膜機(jī)、涂層機(jī)
品牌 MYCRO
型號(hào) 650Mz型(美國(guó)NIST國(guó)家級(jí)工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證)
產(chǎn)品概述:
MYCRO MSC-650系列勻膠機(jī)轉(zhuǎn)速獲美國(guó)國(guó)際NIST標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證。
MYCRO MSC-650系列勻膠機(jī)為美國(guó)原裝進(jìn)口全自動(dòng)數(shù)字式勻膠機(jī)。MYCRO新近推出超強(qiáng)功能的新型控制器MSC-650型旋涂?jī)x,在原有MSC-400B型基礎(chǔ)上,增加了電腦交互功能,集成旋涂分析軟件SPIN 3000,可以通過電腦實(shí)時(shí)分析和控制實(shí)驗(yàn)結(jié)果!
高精度勻膠機(jī)使用過程欣賞視頻:http://www.mycrohk.com/chinese/shownews.asp?news_id=52&cat_id=5
勻膠機(jī)特色:
◆ 科研制備理想的旋涂?jī)x;
◆ 天然聚丙烯或特氟龍材質(zhì)構(gòu)造;
◆ 216毫米,318毫米和370毫米三種腔體大小;
◆ 可選擇臺(tái)面式,和用于濕站或者手套箱系統(tǒng)的不同構(gòu)造;
◆ *大轉(zhuǎn)速可達(dá)12000RPM;
◆ 易編程的數(shù)碼控制器;
◆ 可升級(jí)成為自動(dòng)滴膠型;
◆ 全新SPIN3000軟件,實(shí)時(shí)分析和控制。
詳細(xì)介紹:勻膠機(jī)(英文名:Spin Coater)
我們的勻膠機(jī)設(shè)備是 可以連接電腦,通過SPIN3000軟件來進(jìn)行實(shí)驗(yàn)分析,該軟件具有方便的數(shù)據(jù)存儲(chǔ),導(dǎo)入導(dǎo)出功能。而且該勻膠機(jī)另外還有兩個(gè)模式:數(shù)據(jù)模擬和實(shí)施數(shù)據(jù)記錄模式。
數(shù)據(jù)模擬:當(dāng)我們進(jìn)行涂膠實(shí)驗(yàn)時(shí),我們會(huì)將一組我們?cè)O(shè)定的涂膠速度和涂膠時(shí)長(zhǎng)的數(shù)值輸入進(jìn)系統(tǒng),系統(tǒng)會(huì)據(jù)此 計(jì)算出*佳的速度設(shè)定方案,帶有速度隨時(shí)間變化的曲線。
數(shù)據(jù)記錄:我們都知道涂膠工藝除了與設(shè)備的性能(轉(zhuǎn)速,加速度)等有關(guān)以外,還與外部的實(shí)驗(yàn)操作環(huán)境(比如當(dāng)時(shí)的實(shí)驗(yàn)環(huán)境、溫度等),為了提高實(shí)驗(yàn)的可重復(fù)性,我們?cè)O(shè)備會(huì)在數(shù)據(jù)記錄模式下,實(shí)時(shí)記錄下前一次工藝過程的實(shí)驗(yàn)實(shí)際值,并將該組數(shù)據(jù)存儲(chǔ)并重復(fù)調(diào)用,達(dá)到近乎完全一致的可重復(fù)性。
該MYCRO MSC-650系列勻膠機(jī)適用于半導(dǎo)體、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃及制版等表面涂覆工藝。勻膠機(jī)(Spin Coater),有許多別名:勻膠機(jī),旋轉(zhuǎn)涂敷儀,旋轉(zhuǎn)涂覆儀,有甩膠機(jī)、涂膠機(jī)、勻膠臺(tái)、涂層機(jī)、涂膠機(jī)、涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜儀等。勻膠機(jī)的工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,勻膠機(jī)常用于各種溶膠凝膠(Sol-Gel)實(shí)驗(yàn)中的薄膜制作,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。
MSC-650系列勻膠機(jī)還可在工礦企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學(xué)之用。
MYCRO MSC-650型勻膠機(jī),為高精度數(shù)碼控制器的勻膠旋涂?jī)x,非常方便設(shè)定速度和加速度程序段,勻膠機(jī)內(nèi)共設(shè)有20個(gè)51步程序段或者手動(dòng)模式,100~8000RPM的穩(wěn)定轉(zhuǎn)速,也可特別訂制1~12000RPM的轉(zhuǎn)速,可重復(fù)性達(dá)到+/-0.5RPM,分辨率小于0.5RPM。
MYCRO MSC-650系列勻膠機(jī)的數(shù)碼速度控制器采用的是一個(gè)高計(jì)數(shù)位的光學(xué)編碼器輸入至伺服馬達(dá)控制器,其設(shè)置點(diǎn)精度小于0.006%,獲美國(guó)NIST激光測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證,無需校準(zhǔn)。
需要更詳細(xì)的MYCRO MSC-650系列勻膠機(jī)產(chǎn)品資料,
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