凱威科KAWAKE日本大晃TAIKO干式螺桿泵
TAIKO螺桿式干式真空泵，是采用自主研發(fā)螺桿線性的干式真空泵，它低速轉(zhuǎn)動(dòng)連續(xù)排氣，真空度可達(dá)到１０-1Pa，它可稱為是劃時(shí)代的干式真空泵。實(shí)現(xiàn)了極限真空度的全球*低泵浦轉(zhuǎn)速.從吸氣起到排氣采用非接觸單段壓縮，其特點(diǎn)是可以高效地排除空氣或煤氣中所含有的粉塵霧粒，廣泛用于半導(dǎo)體，液晶，太陽能電池，醫(yī)藥，化工等真空行業(yè)。單級(jí)結(jié)構(gòu)簡單，易于保養(yǎng)和維修，在排除凝聚性氣體，腐蝕性氣體和反應(yīng)生成物的半導(dǎo)體工藝中以及在硅單晶制造的抽真空等領(lǐng)域也發(fā)揮著威力。
各系列螺桿式真空泵：
1、SDV系列
抽速：500-11500 L/min
極限壓力：10 pa
用途：一般產(chǎn)業(yè)機(jī)器
2、SDF系列
抽速：500-850 L/min
極限壓力：30 pa
用途：一般產(chǎn)業(yè)機(jī)器
3、MDP/SLT系列
抽速：1100-35000 L/min
極限壓力：0.7 pa
用途：化學(xué)工序
4、BEH系列
抽速：7000-30000 L/min
極限壓力：0.08 pa
用途：半導(dǎo)體液晶工序
5、TDP系列
抽速：1000-9000 L/min
極限壓力：0.13 pa
用途：半導(dǎo)體液晶工序
6、TD系列
抽速：650-3000 L/min
極限壓力：0.7 pa
用途：半導(dǎo)體液晶工序
7、TDA系列
抽速：150-700 L/min
極限壓力：1 pa
用途：物理、化學(xué)機(jī)器 |
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