ID-3M 可采用2D/FULL3D進(jìn)行高精度測定
【特點】
采用彩色高速相機(jī)和多種類照明,基本性能大幅度提高
●多用途
可進(jìn)行2D/3D測定,因為可以以PIN為單位來指頂3D的測定區(qū)域,因此可以根據(jù)目的使用各種各樣的程序
●高性價比
根據(jù)并用2D/3D的事，一邊持(有)真正的3D圖解測量機(jī)能一邊實現(xiàn)了2D測量機(jī)級的高性價比。
●彩色多照明
上面和側(cè)面采用的可變化1677萬中顏色的彩色LED光源,根據(jù)基板的種類,選擇最適合的顏色,進(jìn)行準(zhǔn)確的測定。
●豐富的周邊程序
由于專用應(yīng)用軟件支持從被要求的數(shù)據(jù)的作成到測量結(jié)果的驗證。
【規(guī)格】
項目 規(guī)格
測定項目 面積,偏移量,高度,體積(3D圖形)
照相機(jī) 彩色數(shù)字照相機(jī)
測定分辨率 8.5μm、17μm（固定、訂貨時指定）
視野 9.75×7.5mm（8.5μm分辨率時）
19.5×15mm（17μm分辨率時）
照相方式 上、橫、2方向 1677萬色可變可能,多彩色LED可以從上面和側(cè)面2個方向變化1600萬顏色
激光 半導(dǎo)體激光(細(xì)長形狀)
測定速度 2D測定時：0.35sec/視野 835mm2/sec（17μm分辨率時）
3D測定時：20mm/sec MAX(X,Y分辨率時)
測定基板外形尺寸 50×50mm～250×330mm
基板厚度 0.5～3.2mm（搬送臺可）
有效范圍 基板尺寸-3mm
相反范圍 ±2.5mm
裝置外形尺寸 974×851×1330mm
本體重量 約400kg
電源 AC100V 2KVA以下
空氣 0.5MPa |
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