SET3/1064/532/355，SFT3：激光微調(diào)機(jī)/激光修阻機(jī)/激光調(diào)阻機(jī)/激光刻阻機(jī)
激光調(diào)阻機(jī)的成功研制對(duì)推動(dòng)我國(guó)微電子行業(yè)的產(chǎn)業(yè)升級(jí)起到重要作用。激光調(diào)阻機(jī)是利用激光技術(shù)對(duì)厚、薄膜電路進(jìn)行修調(diào)，以得到高精度的電阻值或精準(zhǔn)的輸出信號(hào)。公司生產(chǎn)的激光調(diào)阻機(jī)全部擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，采用高質(zhì)量的激光源和精密的測(cè)量系統(tǒng)，空氣懸浮平面運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，各項(xiàng)性能指標(biāo)達(dá)到先進(jìn)水平，是取代進(jìn)口產(chǎn)品之首選。
激光調(diào)阻機(jī)技術(shù)參數(shù)：
--激光器系統(tǒng)：
激光類型：半導(dǎo)體端面泵浦激光器 / 光纖激光器
激光波長(zhǎng)：1064/532/355nm
激光平均功率：10W / 20W / 7W(UV355)
激光頻率：200Hz-50KHz
典型光斑尺寸：30μm
實(shí)際切口取決于材料、光學(xué)器件和波長(zhǎng)；可根據(jù)需要選配532綠激光或355紫外激光*小光斑達(dá)12μm
泵浦源使用壽命：20,000—100，000小時(shí)
冷卻方式：風(fēng)冷
對(duì)焦方式：計(jì)算機(jī)程序控制
--激光束定位系統(tǒng)：
激光束運(yùn)動(dòng)范圍：75mmX75mm（可選配其他規(guī)格）
點(diǎn)到點(diǎn)運(yùn)動(dòng)時(shí)間：5ms（典型）
*大速度：7000mm/s
重復(fù)定位精度：2.5μm
激光束*小步進(jìn)：0.76μm
--圖像監(jiān)視系統(tǒng)：
監(jiān)視方式：激光同軸監(jiān)視
*大放大倍數(shù)：>100倍
圖像監(jiān)視顯示屏：19寸液晶
--測(cè)量系統(tǒng)：
激勵(lì)方式：電流/電壓激勵(lì)
恒流源：0.01μA~100mA計(jì)算機(jī)程控選擇
恒壓源：0~20V計(jì)算機(jī)程控選擇（可選其它電壓范圍）
電阻測(cè)量方式：四線制加電流測(cè)電壓
直流電壓測(cè)量：10mV~10V（滿程電壓）
調(diào)節(jié)對(duì)象發(fā)熱控制：程序可設(shè)定
電阻測(cè)量精度：低阻：<0.05%+1%/R （R<100Ω）
中阻：<0.05%
高阻：<0.05%+0.02%R（R>0.1MΩ）
電阻測(cè)量范圍：0.01Ω-500MΩ
電阻測(cè)量速度：25μs
直流電壓分辨率：0.16μV（在10mV滿量程條件下）
探針板：44針11組四線制（可選其它規(guī)格）
探針板運(yùn)動(dòng)：計(jì)算機(jī)程序控制
--計(jì)算機(jī)及軟件系統(tǒng)：
工業(yè)控制計(jì)算機(jī)（雙核），17寸液晶
操作系統(tǒng)：Windows XP
VB平臺(tái)開發(fā)的可視化應(yīng)用軟件，界面友好，功能強(qiáng)大
--分步重復(fù)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)：
運(yùn)動(dòng)XY范圍：290x260mm
運(yùn)動(dòng)分辨率：1μm
定位精度：小于6μm（帶誤差補(bǔ)償）
重復(fù)定位精度：小于3μm
*大運(yùn)動(dòng)速度：900mm/s
具有溫度補(bǔ)償?shù)裙δ堋?
--非接觸溫度測(cè)量：
溫度測(cè)量精度：0.2℃
調(diào)阻溫度修正：計(jì)算機(jī)程序控制
--其它技術(shù)指標(biāo)：
供電電壓：220V AC
整機(jī)功耗：小于1000W
應(yīng)用和市場(chǎng)：
主要應(yīng)用于厚、薄膜電路的精密調(diào)節(jié)。廣泛應(yīng)用于厚膜混合集成電路，電子元器件，汽車電器，傳感器，軍工科研，片式電阻行業(yè)等。
公司名稱：武漢三工光電設(shè)備制造有限公司
公司地址：湖北武漢東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)武漢大學(xué)科技園武大園四路
聯(lián)系人：陶小姐
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