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供應微控擴散爐

供應微控擴散爐_青島賽爾微電子有限公司_供應微控擴散爐

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公　司：青島賽爾微電子有限公司

發(fā)布時間：2013年02月21日

有效期：2013年08月23日

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公司主頁：	http://share2008shi.qy6.com.cn(加入收藏)

詳細說明

擴散爐應用：應用于集成電路、分立器件、光電子器件、電力電子器件、太陽能電池等領域，適用2~8英寸工藝尺寸
產(chǎn)品特點：
◆主機為水平一至四管爐系統(tǒng)構(gòu)架，獨立完成不同的工藝或相同工藝
◆工業(yè)計算機控制系統(tǒng)，對爐溫、進退舟、氣體流量、閘門等動作進行自動控制
◆采用懸臂送片器：操作方便、無摩擦污染等
◆關鍵部件均采用進口，確保設備的高可靠性
◆工藝管路采用進口閥門管件組成氣密性好、耐腐蝕、無污染（管路均采用EP級電拋光管路），流量控制采用質(zhì)量流量計（MFC）進口
◆控溫精度高，溫區(qū)控溫穩(wěn)定性好；
◆具有斷電報警、超溫報警、極限超溫報警等多種安全保護功能
擴散爐主要技術指標
1、工藝說明
1.1氧化：干氧工藝，濕氧工藝（去離子水、氫氧合成-內(nèi)/外點火）
1.2擴散：硼擴、磷擴（液態(tài)源、固態(tài)源等）
1.3合金、退火等工藝
2、系統(tǒng)組成：主機（加熱體、石英/SiC管、功率組件等)、自動送片（懸臂-SiC）凈化工作臺、氣路氣源系統(tǒng)（氣源柜）、計算機控系統(tǒng)等組成
3、控制方式：手動送片/自動送片
4、擴散爐配置（可選）：
4.1儀表控制/計算機控制
4.2工藝管（水平結(jié)構(gòu)）：1-4管
4.3工藝規(guī)格：2~6英寸晶圓或125mm×125mm、156mm×156mm太陽能電池片（工藝腔體為石英或碳化硅）
4.4恒溫區(qū)長度：1100mm/800mm/600mm/450mm
4.5晶圓裝載：懸臂式，剛玉/碳化硅桿，碳化硅槳
4.6工作臺：有凈化/無凈化
4.7工藝氣路：對應的工藝氣路，氣路閥門組件采用國際優(yōu)質(zhì)品牌產(chǎn)品（如SWAGELOK、PARK、SANDVIK、CARDINAL等等），MFC國際優(yōu)質(zhì)（如MKS、UNIT、STEC等）或國產(chǎn)優(yōu)質(zhì)
5、擴散爐主要技術參數(shù)：
5.1工作溫度：200～1300℃
5.2加熱體控制點：3/5點
5.3爐體恒溫區(qū)：450mm/600mm/800mm/1100mm
5.4恒溫區(qū)精度：＞800℃/±0.5℃ ，＜800℃/±1℃
5.5單點溫度穩(wěn)定性：600～1300℃/ ±0.5℃/24h
5.6*大可控升溫速度：25℃/min
5.7*大降溫速度：5℃/min（900～1300℃）
5.8供電：三相四線，380VAC/50HZ
6、結(jié)構(gòu)尺寸：
6.1 結(jié)構(gòu)：水平擴散爐/垂直擴散爐

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·供應擴散爐爐體
·供應鏈式隧道爐
·供應三管擴散爐
·供應微控擴散爐

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