主要用于鍍制增透膜、帶通膜和截止膜等各種膜系，能夠?qū)崿F(xiàn)100層膜的超大型膜系鍍膜，也能滿足在樹脂鏡片上鍍制各種顏色的增透膜以及在太陽(yáng)鏡片上鍍制紅、黃、藍(lán)、綠等顏色的反光膜，還適用于裝飾品的鍍膜，如七彩等顏色。
結(jié)構(gòu)特點(diǎn)
1、配置電子束蒸發(fā)及電阻蒸發(fā)系統(tǒng)；
2、配置超大坩堝電子槍，整個(gè)蒸發(fā)過程中膜料表面平整，蒸發(fā)分布均勻；
3、配置石英晶體膜厚控制儀可實(shí)現(xiàn)成膜速度和鍍膜過程的自動(dòng)控制；
4、配置大功率離子源，膜厚質(zhì)量好；
5、總體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，更符合工藝的要求，真空系統(tǒng)PLC自動(dòng)控制，操作方便。
光學(xué)鍍膜設(shè)備主要技術(shù)參數(shù)
型號(hào)
ZS、ZZS-600
ZS、ZZS-800
ZS、ZZS-1000
ZS、ZZS-1200
ZS、ZZS-1380
結(jié)構(gòu)形式
箱式前開門后置抽氣系統(tǒng)
真空室
（寬×深×高）mm
650×600×700
800×800×800
1000×1000×1200
ф1200×1200
ф1380×1250
極限壓力
5×10-4Pa
6.7×10-4Pa
恢復(fù)真空時(shí)間
從1×105Pa抽至5×10-3Pa ≤ 20min
電
子
束
蒸
發(fā)
源
270Oe型槍
加速電壓(KV) 6,10
數(shù)量（套）
1
1,根據(jù)用戶需要可安裝2套
坩堝容積
20ml×4槽
22ml×4槽
功率(kW)
6
10
電
阻
蒸
發(fā)
源
電阻蒸源
電壓（V）5,10
功率（kW）
2.5
2×2.5
2×5
水冷電極數(shù)量
2 對(duì)（交替蒸發(fā)）
2 對(duì)（同時(shí)蒸發(fā)）
工件架類型及尺
（mm）
拱型夾具
ф580
拱型夾具ф740,
星型夾具ф420×3
任選一種
拱型夾具ф950,
星型夾具ф650×3
任選一種
拱型夾具
ф1100
拱型夾具
ф1250
烘
烤
功率(kW)
4.5
9
13.5
溫度℃
350 數(shù)顯自動(dòng)控溫
離子
轟擊
電壓(V)
3000
電流(mA)
300
真空系統(tǒng)配置
KT-400擴(kuò)散泵2X-70,2X-4
機(jī)械泵
KT-600擴(kuò)散泵
ZJ-600 羅茨泵
2X-70，2X-15
機(jī)械泵
KT-600擴(kuò)散泵
ZJ-600羅茨泵
H-150，2X-15
機(jī)械泵
KT-600 擴(kuò)散泵
ZJ-600羅茨泵
H-150,2X-15
機(jī)械泵
KT-800擴(kuò)散泵
ZJ-600羅茨泵
H-150,2X-15
機(jī)械泵
光學(xué)膜控控儀
垂真光路,透、反射控制，波長(zhǎng)400nm-700nm
水冷系統(tǒng)
水壓(kpa)
約2.5×102
水溫(℃)
＜ 25
壓縮空氣（kpa）
(4-6)×102
總功率（kW）
26
36
56
60
65 |
 |
|
手機(jī)站
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