主要用于鍍制增透膜、帶通膜和截止膜等各種膜系，能夠實現100層膜的超大型膜系鍍膜，也能滿足在樹脂鏡片上鍍制各種顏色的增透膜以及在太陽鏡片上鍍制紅、黃、藍、綠等顏色的反光膜，還適用于裝飾品的鍍膜，如七彩等顏色。
結構特點
1、配置電子束蒸發及電阻蒸發系統；
2、配置超大坩堝電子槍，整個蒸發過程中膜料表面平整，蒸發分布均勻；
3、配置石英晶體膜厚控制儀可實現成膜速度和鍍膜過程的自動控制；
4、配置大功率離子源，膜厚質量好；
5、總體結構設計合理，更符合工藝的要求，真空系統PLC自動控制，操作方便。
光學鍍膜設備主要技術參數
型號
ZS、ZZS-600
ZS、ZZS-800
ZS、ZZS-1000
ZS、ZZS-1200
ZS、ZZS-1380
結構形式
箱式前開門后置抽氣系統
真空室
（寬×深×高）mm
650×600×700
800×800×800
1000×1000×1200
ф1200×1200
ф1380×1250
極限壓力
5×10-4Pa
6.7×10-4Pa
恢復真空時間
從1×105Pa抽至5×10-3Pa ≤ 20min
電
子
束
蒸
發
源
270Oe型槍
加速電壓(KV) 6,10
數量（套）
1
1,根據用戶需要可安裝2套
坩堝容積
20ml×4槽
22ml×4槽
功率(kW)
6
10
電
阻
蒸
發
源
電阻蒸源
電壓（V）5,10
功率（kW）
2.5
2×2.5
2×5
水冷電極數量
2 對（交替蒸發）
2 對（同時蒸發）
工件架類型及尺
（mm）
拱型夾具
ф580
拱型夾具ф740,
星型夾具ф420×3
任選一種
拱型夾具ф950,
星型夾具ф650×3
任選一種
拱型夾具
ф1100
拱型夾具
ф1250
烘
烤
功率(kW)
4.5
9
13.5
溫度℃
350 數顯自動控溫
離子
轟擊
電壓(V)
3000
電流(mA)
300
真空系統配置
KT-400擴散泵2X-70,2X-4
機械泵
KT-600擴散泵
ZJ-600 羅茨泵
2X-70，2X-15
機械泵
KT-600擴散泵
ZJ-600羅茨泵
H-150，2X-15
機械泵
KT-600 擴散泵
ZJ-600羅茨泵
H-150,2X-15
機械泵
KT-800擴散泵
ZJ-600羅茨泵
H-150,2X-15
機械泵
光學膜控控儀
垂真光路,透、反射控制，波長400nm-700nm
水冷系統
水壓(kpa)
約2.5×102
水溫(℃)
＜ 25
壓縮空氣（kpa）
(4-6)×102
總功率（kW）
26
36
56
60
65 |
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|
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