FX系列惰性氣體純化器的原理是利用合金吸附劑能與氧氣、氮氣、水、二氧化碳和烴類等雜質反應生成穩定化合物或固溶體的性質來把氬氣、氦氣、氖氣、氙氣等惰性氣體中的上述雜質除去，從而達到純化之目的，凈化后得到的高純氣體可廣泛用于半導體、電子、冶金、鋰電池制造及直讀光譜分析和輝光光譜分析等產業部門和科學研究中。
產品特點
⑴凈化程度深，不僅能除去O2等較活潑的雜質，而且還可以除去N2等惰性雜質，這是一般凈化機辦不到的；
⑵本純化器為雙塔結構，一組工作，另一組備用，故一臺能頂兩臺單式純化器使用；
⑶工作溫度較低，能耗少。
本系列凈化機配置有預凈化模塊，在合金吸附塔之前已經除去了較活波的雜質，故極大的延長了合金吸附塔的使用壽命。
FX系列惰性氣體純化器技術參數表
設備名稱
設備型號
工作方式
再生方式
備 注
惰性氣體純化器
FX□-C
半自動
半自動
□選填Ar、He、？？
FX□-Z
自動
自動
□選填Ar、He
原氣要求
純 度
≥99.99%一般瓶裝惰性氣體
雜質要求
O2≤200PPm, H2O≤1000PPm，N2≤100PPm
輸出純氣
純 度
≥99.9998%
雜質含量
O2≤0.5PPm；N2≤1.0PPm；H2O≤1PPm(即露點≤－76℃)；
CO+CO2≤0.1PPm；塵埃粒子數（≥0.3μm）3-5個／升
工作壓力
0～1.0MPa
處理氣量
1～6Nm3/h
備 注
可根據用戶要求 |
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