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供應(yīng)修阻機-激光微調(diào)機/激光修阻機/激光調(diào)阻機/激光刻阻機  供應(yīng)修阻機-激光微調(diào)機/激光修阻機/激光調(diào)阻機/激光刻阻機 _武漢三工光電設(shè)備制造有限公司_供應(yīng)修阻機-激光微調(diào)機/激光修阻機/激光調(diào)阻機/激光刻阻機 

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公 司: 武漢三工光電設(shè)備制造有限公司
發(fā)布時間:2013年03月02日
有 效 期:2013年09月01日
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公 司:武漢三工光電設(shè)備制造有限公司

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詳細說明

    產(chǎn)品特點: 

--調(diào)阻精度高:先進的激光器提供了TEM00高光束質(zhì)量和極細線寬的激光束;四線制高速測量系統(tǒng),測量時間僅為25us;擁有軟件預(yù)調(diào)誤差補償功能; 

--調(diào)阻速度快:先進的激光器擁有極高的重復(fù)頻率,在保證光斑重疊率的情況下能擁有很高速度;德國進口掃描振鏡,掃描速度極快;高精度分步重復(fù)機構(gòu),空氣軸承,移動速度及加速度快; 

--可靠性高:整機配置核心器件均采用原裝進口配置;采用花崗巖臺座,穩(wěn)定可靠; 

--功能強大:擁有溫度實時補償功能;同時具有激光劃片和打標功能; 

--運行及維護成本低廉:采用半導(dǎo)體端面泵浦或光纖激光器;使用壽命長,性能穩(wěn)定;電光轉(zhuǎn)換效率高,節(jié)約用電成本;采用風(fēng)冷系統(tǒng),無須外置冷卻設(shè)備;操作簡單,無須高額培訓(xùn)成本; 

技術(shù)參數(shù): 

--激光器系統(tǒng): 

激光類型:半導(dǎo)體端面泵浦激光器 / 光纖激光器 

激光波長:1064/532/355nm 

激光平均功率:10W / 20W / 7W(UV355) 

激光頻率:200Hz-50KHz 

典型光斑尺寸:30μm 

實際切口取決于材料、光學(xué)器件和波長;可根據(jù)需要選配532綠激光或355紫外激光*小光斑達12μm 

泵浦源使用壽命:20,000—100,000小時 

冷卻方式:風(fēng)冷 

對焦方式:計算機程序控制 

--激光束定位系統(tǒng): 

激光束運動范圍:75mmX75mm(可選配其他規(guī)格) 

點到點運動時間:5ms(典型) 

*大速度:7000mm/s 

重復(fù)定位精度:2.5μm 

激光束*小步進:0.76μm 

--圖像監(jiān)視系統(tǒng): 

監(jiān)視方式:激光同軸監(jiān)視 

*大放大倍數(shù):>100倍 

圖像監(jiān)視顯示屏:19寸液晶 

--測量系統(tǒng): 

激勵方式:電流/電壓激勵 

恒流源:0.01μA~100mA計算機程控選擇 

恒壓源:0~20V計算機程控選擇(可選其它電壓范圍) 

電阻測量方式:四線制加電流測電壓 

直流電壓測量:10mV~10V(滿程電壓) 

調(diào)節(jié)對象發(fā)熱控制:程序可設(shè)定 

電阻測量精度:低阻:<0.05%+1%/R  (R<100Ω)      

中阻:<0.05% 

高阻:<0.05%+0.02%R(R>0.1MΩ) 

電阻測量范圍:0.01Ω-500MΩ 

電阻測量速度:25μs 

直流電壓分辨率:0.16μV(在10mV滿量程條件下) 

探針板:44針11組四線制(可選其它規(guī)格) 

探針板運動:計算機程序控制 

--計算機及軟件系統(tǒng): 

工業(yè)控制計算機(雙核),17寸液晶 

操作系統(tǒng):Windows XP 

VB平臺開發(fā)的可視化應(yīng)用軟件,界面友好,功能強大 

--分步重復(fù)運動系統(tǒng): 

運動XY范圍:290x260mm 

運動分辨率:1μm 

定位精度:小于6μm(帶誤差補償) 

重復(fù)定位精度:小于3μm    

*大運動速度:900mm/s 

具有溫度補償?shù)裙δ堋?

--非接觸溫度測量: 

溫度測量精度:0.2℃ 

調(diào)阻溫度修正:計算機程序控制 

--其它技術(shù)指標: 

供電電壓:220V AC 

整機功耗:小于1000W 

應(yīng)用和市場:主要應(yīng)用于厚膜、薄膜電路的精密調(diào)節(jié)。廣泛應(yīng)用于厚膜混合集成電路、電子元器件、汽車電器、傳感器、軍工科研、片式電阻等行業(yè)。


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