廣東微型流量傳感器，廣州微型氣體流量計
HFS5001小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設(shè)計的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔、干燥氣體。獨特的封裝技術(shù)使之在相同的管徑下可測量不同范圍的流量，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器并配以多種信號輸出，通過通訊接口可實現(xiàn)對傳感器的靈活配置與參數(shù)查詢。
產(chǎn)品特點：
傳感器靈敏度高，有極小的始動流量傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計量，無需溫度壓力補償，保證了傳感器的高精度計量在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成，使其量程比達(dá)到了100:1甚至更高貼壁式安裝，無直管段要求，易于安裝與使用輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數(shù)據(jù)(RS232)或由上位機查詢輸出數(shù)據(jù)(RS232 / I2C)，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓零點穩(wěn)定度高全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性低功耗、低壓損響應(yīng)速度快機械尺寸
技術(shù)參數(shù)：
HFS5001
量程范圍
0～20,50,200,500,1000,或根據(jù)客戶需求定制 sccm
量程比 >100：1
精度 ±（1.5±0.2FS） %
重復(fù)性 ±0.75 %
零點輸出飄逸 ±30 mV
輸出飄逸 0.16 %/oc
響應(yīng)時間 100（默認(rèn)，50，100，200，500，100設(shè)置） ms
工作電源 8~18Vdc,50mA
輸出方式 RS232,I2C,模擬電壓0.5~4.5Vdc
*大流量壓損 900 Pa
*大流量壓力 0.8 MPa
工作溫度 -5~+45 oC
存儲溫度 -20~+55 oC
工作濕度 <95%RH(無結(jié)冰、無凝露)
機械接口 M,Rc,NPT,4mm,6mm快速接頭（配轉(zhuǎn)接模塊）
校準(zhǔn)方式 空氣（或其他氣體），20oC,101.325kPa
重量 17.5 g
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