因為即使是指紋也會脫氣，并可能導致過程污染，清潔擴散泵的常見行業慣例是使用，然后用異沖洗來清潔泵的內部組件(例如，泵體，噴射組件)，干式螺桿泵，爪式泵和羅茨鼓風機應檢查螺桿或轉子是否磨損和轉子之間的間隙過大。
上海一恒真空泵維修噴油維修檢查三要點
真空泵卡死故障維修方法
1、檢查彈簧：彈簧損壞會使旋片受力不均勻，導致真空泵卡死。因此，需要檢查彈簧的狀態，如有損壞應更換新的彈簧。
2、檢查設備裝配：設備裝配不當會使某局部受力，導致設備卡死。此時應重新裝配設備，確保所有部件安裝到位且配合良好。
3、檢查過濾網：若過濾網損壞，會導致金屬屑、顆粒等落入泵腔內，導致機械卡死。應將泵拆開檢查、清洗干凈，并更換損壞的過濾網。
4、調整端面間隙：端面間隙過小會使泵溫升高，若泵溫過高則會出現卡死現象。此時應修磨轉子旋片，調整間隙至適當范圍。
5、更換泵油：泵油變質或結垢、油黏度不恰當易導致泵出現卡死問題。此時應更換新的泵油，并確保油質干凈、無雜質。
6、檢查軸和軸套：軸和軸套配合過緊、缺油潤滑也易導致泵出現卡死問題。此時應加強油路潤滑，或更換合適的軸和軸套。
請注意，泵效率降低32%（75%至43%）導致泵成本增加74%（55.62美元/毫升至97.02美元/毫升）。影響成本和泵效率的其他因素泵速制造商的泵性能圖表通常針對特定的泵速和葉輪尺寸制作。必須知道泵速才能解讀制造商的泵性能圖表。由于柴油發動機可以設置為在其范圍內的任何轉速下運行，因此了解轉速至關重要。如果未安裝轉速表，請獲取便攜式裝置。如果發動機不直接連接到泵，則速度通過變速器的傳動比改變。齒輪傳動通常在銘牌上刻有傳動比。V型皮帶和皮帶輪傳動的傳動比可以根據電機和泵上皮帶輪的直徑計算得出（見下圖）。注意：在嘗試進行測量之前，確保電機已關閉且不動。葉輪尺寸制造商可能會為同一泵殼提供不同直徑的葉輪。
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