高壓和泵液回流泵中，過大的功率會導致電機損壞，應盡可能避免在功率附近連續運行，如果有一些沉積物，應定期清潔，極限壓力不達標可由外漏，內漏，油孔堵塞，泵油質量差或污染變質，水蒸氣等可冷凝物質，儀表失真和泵運行不正常等引起。
日立真空泵維修溫度過高維修完成
真空泵卡死故障維修方法
1、檢查彈簧：彈簧損壞會使旋片受力不均勻，導致真空泵卡死。因此，需要檢查彈簧的狀態，如有損壞應更換新的彈簧。
2、檢查設備裝配：設備裝配不當會使某局部受力，導致設備卡死。此時應重新裝配設備，確保所有部件安裝到位且配合良好。
3、檢查過濾網：若過濾網損壞，會導致金屬屑、顆粒等落入泵腔內，導致機械卡死。應將泵拆開檢查、清洗干凈，并更換損壞的過濾網。
4、調整端面間隙：端面間隙過小會使泵溫升高，若泵溫過高則會出現卡死現象。此時應修磨轉子旋片，調整間隙至適當范圍。
5、更換泵油：泵油變質或結垢、油黏度不恰當易導致泵出現卡死問題。此時應更換新的泵油，并確保油質干凈、無雜質。
6、檢查軸和軸套：軸和軸套配合過緊、缺油潤滑也易導致泵出現卡死問題。此時應加強油路潤滑，或更換合適的軸和軸套。
這將導致軸承在蒸汽中運行，隨后造成類似于干轉的損壞。由于汽化導致內部壓力增加，隨后密封室膨脹導致與外磁環接觸，可能會造成額外的損壞。夾帶氣體-夾帶氣體引起的問題類似于干運行的問題。氣體會干擾內部軸承的潤滑，導致軸承故障和損壞，如前所述。氣蝕——除了葉輪和外殼的正常機械損壞外，內部軸承還會遇到其他問題。氣蝕產生的機械沖擊可能導致內部軸承破碎，是如果軸承由氧化鋁、碳化硅和碳化鎢等陶瓷制成。如前所述，內部組件之間可能會發生接觸。破碎的陶瓷軸承也可能導致內部組件嚴重腐蝕。溫度-溫度超過制造商建議的限制可能會損壞磁力耦合器。磁鐵強度和持久性受溫度升高的影響。磁鐵在達到制造商的高溫度時仍能保持大部分強度。隨著溫度升高。
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