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太陽能光伏擴散爐 廠家直銷 太陽能光伏擴散爐 廠家直銷_青島福潤德微電子設備有限公司_太陽能光伏擴散爐 廠家直銷

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公 司: 青島福潤德微電子設備有限公司
發布時間:2024年10月24日
有 效 期:2025年04月25日
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公 司:青島福潤德微電子設備有限公司

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詳細說明

    太陽能擴散爐主要滿足光伏電池生產線對125mm×125mm、156mm×156mm多晶硅、單晶硅硅片進行擴散工藝。目前有第二代閉管擴散爐和第三代軟著陸擴散爐。 
技術指標:
可處理硅片尺寸:125mm×125mm、156mm×156mm
外型形式:臥式1—4管結構
載片量:400片/管
擴散方式:閉管擴散、軟著陸全封閉
工作溫度:200℃—1300℃
恒溫區長度及精度:200mm—1100mm≤±1℃
單點溫度穩定性、重復性: ≤±1℃/24h
溫度控制:5段控溫
總功率:120KVA
送片裝置:懸臂推拉舟,碳化硅槳*大載重17kg
氣路系統:1—5路工藝氣體/管
氣體控制:進口MFC
控制方式:工控機、觸摸屏
Thinnerwafers:180Um
Break rate:0.8%
方阻均勻度范圍:片內±5%,片間±5%,批間±5%


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