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公 司: 青島福潤(rùn)德微電子設(shè)備有限公司
發(fā)布時(shí)間:2024年09月13日
有 效 期:2025年03月12日
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岳曉茜 女士 (銷售)
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詳細(xì)說(shuō)明

    氧化擴(kuò)散爐性能特點(diǎn):
◆具有可編程的升、降溫功能
◆采用濾波器、屏蔽板等裝置,有效解決電網(wǎng)、磁場(chǎng)的干擾
◆windows xp全中文視窗操作系統(tǒng),可儲(chǔ)存1000條曲線,每條曲線設(shè)置30步
◆自動(dòng)運(yùn)行中可暫停/繼續(xù)運(yùn)行功能
◆智能升降溫斜率控制功能
◆PlD參數(shù)自整定功能,可存儲(chǔ)多組PlD參數(shù)供系統(tǒng)運(yùn)行調(diào)用功能
◆系統(tǒng)故障的檢測(cè)與報(bào)警功能、系統(tǒng)誤差修正(單點(diǎn)或多點(diǎn)動(dòng)態(tài)修正功能)
◆具有停電后斷點(diǎn)繼續(xù)運(yùn)行功能
◆工藝方式:干法氧化、濕法氧化、水汽氧化


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