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公 司: 青島晨立電子有限公司
發(fā)布時(shí)間:2024年10月23日
有 效 期:2025年04月24日
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詳細(xì)說(shuō)明

    晶圓真空退火爐主要用于半導(dǎo)體晶圓在高真空環(huán)境下的低溫退火。

尺寸:4-8英寸晶圓

晶圓舟:標(biāo)準(zhǔn)25片

控溫精度:±3℃

升溫速率:10℃/min

潔凈等級(jí):百級(jí)潔凈

真空度:5*10-4 Pa

使用溫度:200-550度


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